Calibre Curvilinear MDP

Zahteve glede vzorčenja litografskih procesov naslednje generacije in potreba po zniževanju proizvodnih stroškov so litografe spodbudili k raziskovanju prednosti krivuljnih mask. Več študij, podprtih z eksperimentalnimi rezultati, je pokazalo litografsko prednost krivuljnih fotomask pred pravokotnimi približki. Izdelava krivuljnih mask je bila omejena zaradi arhitekture pisalcev žarkov spremenljive oblike, zaradi česar je bila prepovedana tako pri pripravi podatkov o maskah kot pri pisanju mask. Razpoložljivost pisateljev mask z več žarki je odstranila te ovire in uvedbo krivuljnih mask veliko približala resničnosti.

Preberi Krivulje naprej! Proizvodnja IC se pripravlja na ukrivljene maske če želite izvedeti več o prednostih krivuljnih mask.

Paket orodij Calibre Curvilinear MDP omogoča nemoteno nadaljevanje manipulacij podatkov, potrebnih za tehnike izboljšanja ločljivosti (RET), kot so vstavljanje funkcij za pomoč pri reševanju (SRAF) in optični popravek procesa (OPC) ter popravljanje postopka maske (MPC) v pretvorbo formata podatkov maske v enem serijskem zagonu.

Tradicionalno pisci multibeam mask podpirajo podatke Piecewise-Linear (PWL) na svojih podatkovnih poteh. Pred kratkim so prodajalci pisateljev mask z več žarki uvedli izvorno podporo za večkotnike v novi generaciji orodij za pisanje mask z več žarki. Namen večkotnika je predstaviti ukrivljene podatke z izvorno obliko krivulje za zbijanje velikosti datoteke v tokih maske. Število oglišč, ki se uporabljajo za predstavitev večkotnih podatkov, je bistveno manjše od oglišč, uporabljenih za predstavitev podatkov Piecewise-Linear, kar ima za posledico zmanjšanje velikosti datoteke zaradi uporabe nativnih krivulj za krivuljne podatke.

Spodnja slika prikazuje primer PWL na levi in večkotnika na desni.

Rešitev Calibre Curvilinear MDP podpira pretoke zlomov več žarkov, ki temeljijo na multigonu, in je omogočena z najnovejšimi formati večžarkov, kot sta MBW 3.0 iz IMS in MBF 2.1 iz NuFlare.

• Preverjanje večkotne razdalje: Preverjanje večkotne razdalje je zasnovano za merjenje razdalje med odseki spline na večkotnih plasteh, kar zagotavlja skladnost z omejitvami načrtovanja.
• Preverjanje širine in širine globine večkotnika: Preverjanje širine globine zagotavlja, da je najmanjša širina oblike večkotnika znotraj sprejemljivega območja, zlasti če se meri v določenem območju globine.
• Preverjanje kota večkotnika: Preverjanje kota oceni geometrijo večkotnika tako, da izračuna kot spline na vsaki zanimivi točki (POI) za določen polmer.
• Preverjanje ukrivljenosti večkotnika: Preverjanje ukrivljenosti je zasnovano tako, da oceni gladkost in kakovost upogiba vsakega Bezierjevega odseka spline znotraj večkotnika z izračunom najmanjšega polmera ukrivljenosti vzdolž njegove konture.

Zgornja slika prikazuje primere preverjanja zunanje razdalje (zgoraj levo), notranjega preverjanja razdalje (zgoraj desno), zaznavanja konic (spodaj levo) in preverjanja globine širine (spodaj desno).