Krivočiarny OPC motor
Zakrivený OPC motor Calibre dokáže premeniť obdĺžnikové tvary na krivočiarne vzory a zabezpečiť dosiahnutie cieľa EPE. Vykonáva kontroly tlače SRAF pre zakrivené tvary a súčasne aplikuje obmedzenia MRC, aby sa zabezpečilo vysokokvalitné generovanie krivočiarnej masky.
Rýchle plnočipové krivavé riešenie OPC
Calibre nmCLOPC umožňuje hybridný ILT krivočiarny tok OPC, ktorý poskytuje požadovanú litografickú kvalitu s rýchlejšou prevádzkou ako pri plnom riešení ILT. Tento tok je možné použiť na generovanie krivočiarnych masiek potrebných pre kremíkovú fotoniku alebo pre priamočiare návrhy pre logiku alebo pamäť.
Natívne krivočiarne znázornenie mnohouholníka
Na rozdiel od tradičných motorov OPC, ktoré sa spoliehajú na pohyb okrajov Manhattanu, Calibre nmCLOPC používa natívne krivočiarné znázornenie mnohouholníka s Bezierovými drážkami a vykonáva korekciu založenú na dlahách posunutím „OPC krivky“. Tento nový formát prospieva nielen zlepšeniu presnosti, ale tiež zmierňuje výbuch veľkosti údajov zavedený krivočiarnymi maskami.
Pokročilé riešenia modelovania OPC pre krivočiarne masky
Model jadra Calibre OPC dokáže presne modelovať efekty 3D elektromagnetického poľa masky pre krivočiarne masky. Použitie SEM obrysov na kalibráciu modelu na krivočiarne vzory mu umožňuje opísať skutočné správanie na oblátke. Pokročilá technológia Calibre nmCLOPC maximalizuje nárok na litografiu a dosahuje požadovanú presnosť OPC.
Ste pripravení dozvedieť sa viac o Calibre?
Sme pripravení odpovedať na vaše otázky! Kontaktujte náš tím ešte dnes
Zavolajte: 1-800-547-3000
Poradenské služby Calibre
Pomôžeme vám prijať, nasadiť, prispôsobiť a optimalizovať vaše komplexné dizajnové prostredia. Priamy prístup k inžinierstvu a vývoju produktov nám umožňuje využiť hlboké odborné znalosti v oblasti domény a témy.
Centrum podpory
Centrum podpory spoločnosti Siemens vám poskytuje všetko na jednom ľahko použiteľnom mieste -
databáza znalostí, aktualizácie produktov, dokumentácia, prípady podpory, informácie o licencie/objednávke a ďalšie.
Dizajn a výroba kalibru IC
Balík nástrojov Calibre poskytuje presné, efektívne a komplexné overenie a optimalizáciu IC vo všetkých procesných uzloch a štýloch návrhu a zároveň minimalizuje využitie zdrojov a harmonogramy zrážok.