Calibre Curvilinear MDP

Požiadavky na vzorovanie litografických procesov novej generácie a potreba znižovať výrobné náklady prinútili litografov preskúmať výhody krivočiarnych masiek. Viaceré štúdie podporené experimentálnymi výsledkami preukázali litografickú výhodu krivočiarnych fotomaskov oproti priamočiarym aproximáciám. Výrobnosť krivočiarnych masiek bola obmedzená kvôli architektúre snímačov lúčov s premenlivým tvarom, vďaka čomu bola zakázaná tak z hľadiska prípravy údajov o maskách, ako aj pri písaní masiek. Dostupnosť autorov viaclúčových masiek odstránila tieto prekážky a zavedenie krivočiarnych masiek omnoho priblížila realite.

Prečítajte si Krivky vpredu! Výroba IC sa pripravuje na zakrivené masky dozvedieť sa viac o výhodách krivočiarnych masiek.

Sada nástrojov Calibre Curvilinear MDP umožňuje bezproblémové pokračovanie v manipulácii s údajmi potrebnými pre techniky vylepšenia rozlíšenia (RET), ako je vkladanie funkcií pomocného rozlíšenia (SRAF) a optická korekcia procesu (OPC) a korekcia procesu masky (MPC) na konverziu formátu údajov masky v jednom dávkovom spustení.

Tradične autori multibeam mask podporujú údaje Piecewise-Linear (PWL) vo svojich dátových cestách. Nedávno predajcovia viaclúčových snímačov masiek zaviedli natívnu podporu multigónov na novej generácii nástrojov na písanie multibeam mask. Účelom multigónu je reprezentovať krivočiarne údaje s natívnym formátom krivky pre zhutnenie veľkosti súboru v tokoch masiek. Počet vrcholov použitých na reprezentáciu údajov z viacerých uhol je podstatne menší ako vrcholy použité na reprezentáciu údajov Piecewise-Linear, čo má za následok zníženie veľkosti súboru pri použití natívnych kriviek pre krivočiarne údaje.

Nasledujúci obrázok ukazuje príklad PWL vľavo a multigónu vpravo.

Riešenie Calibre Curvilinear MDP podporuje viaclúkové prelomové toky založené na multigóne a je povolené pomocou najnovších formátov viacerých lúčov ako MBW 3.0 od IMS a MBF 2.1 od NuFlare.

• Kontrola vzdialenosti viacerých uholníkov: Kontrola vzdialenosti viacerých uholníkov je navrhnutá tak, aby merala vzdialenosť medzi úsekami drážky na viacuholníkových vrstvách, čím sa zabezpečí súlad s konštrukčnými obmedzeniami.
• Kontrola šírky hĺbky viacerých uholníkov a pomeru šírky hĺbky: Kontrola šírky hĺbky zabezpečuje, že minimálna šírka tvaru viacuholníka je v prijateľnom rozsahu, konkrétne pri meraní v danom rozsahu hĺbky.
• Kontrola uhla viacerých uhlov: Kontrola uhla vyhodnotí geometriu multiuholníka výpočtom uhla drážky v každom bode záujmu (POI) pre určený polomer.
• Kontrola zakrivenia viacerých uhlov: Kontrola zakrivenia je navrhnutá tak, aby posúdila hladkosť a kvalitu ohybu každého úseku Bezierovho drážky v rámci multiuholníka výpočtom minimálneho polomeru zakrivenia pozdĺž jeho obrysu.

Na obrázku vyššie sú uvedené príklady kontroly vonkajšej vzdialenosti (vľavo hore), vnútornej kontroly vzdialenosti (vpravo hore), detekcie hrotov (vľavo dole) a kontroly šírky hĺbky (vpravo dole).