Инструменты Calibre Mask Data Preparation (MDP) позволяют преобразовывать и проверять формат данных маски при изготовлении масок, включая новейшие форматы многолучевых масок на полностью совместимой платформе Calibre.
Продукты Calibre Mask Data Preparation являются частью интегрированной платформы Calibre, позволяющей выполнять все задачи по повышению разрешения и преобразованию форматов данных масок за один пакетный цикл изготовления маски с использованием единого языка управления с лучшей в своем классе производительностью.
Экспортирует данные создания масок непосредственно в целевые форматы записи масок без изменения инструментов и создания больших промежуточных файлов. Поддерживаются следующие форматы: MEBES, JEOL, Micronic, NuFlare VSB и MBF, OASIS.MASK и OASIS.MBW.
Проверяет окончательные данные записи масок с исходным определением GDSII или OASIS. Он поддерживает отслеживание обновлений дизайна, подтверждая наличие изменений в окончательных данных маски.
Обеспечивает быстрый и простой просмотр проектных данных в форматах GDSII и OASIS, а также во всех популярных форматах паттернов и сборок данных для записи масок в соответствующих наборах заданий.
Сокращает стоимость маски и время записи маски за счет уменьшения общего количества снимков за счет расширенной предварительной обработки фрагментированных данных.
Обеспечивает высокомасштабируемое слияние микросхем для разрушения NuFlare VSB11.
Расширяет набор языков программирования tcl, доступный в Calibre MDPView, специальными функциями, поддерживающими извлечение и проверку подходящих мест для метрологии масок.