Криволинейный двигатель OPC
Криволинейный двигатель OPC Calibre может преобразовывать прямоугольные формы в криволинейные узоры и обеспечивать достижение цели EPE. Он выполняет проверки изогнутых форм при печати SRAF и одновременно применяет ограничения MRC, чтобы обеспечить создание высококачественных криволинейных масок.
Быстрое полночиповое криволинейное решение OPC
Calibre NMCLopc обеспечивает гибридный криволинейный поток OPC от ILT, который обеспечивает требуемое качество литографии при более быстром времени работы, чем при использовании полного решения ILT. Этот поток можно использовать для создания криволинейных масок, необходимых для кремниевой фотоники, или для прямолинейных конструкций логики или памяти.
Нативное криволинейное многоугольное представление
В отличие от традиционных движков OPC, использующих перемещение кромок Манхэттена, Calibre NMCLPC использует встроенное криволинейное представление полигонов с помощью сплайнов Безье и выполняет коррекцию на основе сплайнов путем перемещения «кривой OPC». Этот новый формат не только способствует повышению точности, но и снижает резкий рост размера данных, вызванный криволинейными масками.
Передовые решения OPC-моделирования для криволинейных масок
Базовая модель Calibre OPC позволяет точно моделировать эффекты трехмерного электромагнитного поля маски для криволинейных масок. Использование контуров SEM для калибровки модели по криволинейным рисункам позволяет описывать реальное поведение на пластине. Усовершенствованная технология Calibre NMCLopc максимизирует возможности литографии и обеспечивает требуемую точность OPC.
Готовы узнать больше о Calibre?
Мы всегда готовы ответить на ваши вопросы! Свяжитесь с нашей командой уже сегодня
Звонок: 1-800-547-3000
Консультационные услуги Calibre
Мы поможем вам внедрить, развернуть, настроить и оптимизировать сложные среды проектирования. Прямой доступ к проектированию и разработке продуктов позволяет нам использовать глубокие знания в предметных и предметных областях.
Центр поддержки
Центр поддержки Siemens предоставляет все необходимое в одном удобном месте -
база знаний, обновления продуктов, документация, заявки на поддержку, информация о лицензиях/заказах и многое другое.
Проектирование и производство микросхем Calibre
Набор инструментов Calibre обеспечивает точную, эффективную и всестороннюю проверку и оптимизацию микросхем на всех технологических узлах и стилях проектирования, сводя к минимуму потребление ресурсов и сроки замены пленки.