Коррекция масочного процесса (MPC) для криволинейных конструкций
Calibre NMCLMPC выполняет коррекцию процесса маскирования (MPC) для макетов ввода с криволинейными полигонами, например, созданными с помощью технологии обратной литографии (ILT) OPC, а также кремниевых фотонных структур.
Инновационная фрагментация на основе кривизны
Фрагментация на основе кривизны в движке Calibre NMcLMPC определяет длину кромочного фрагмента на основе локальной кривизны и обеспечивает выходные данные, позволяющие корректировать криволинейную MPC. Эта функция позволяет одновременно оптимизировать размер файла, точность и время выполнения процесса коррекции криволинейной маски.
Возможность достижения быстрой конвергенции
Калибр NMCLMPC можно использовать с предварительным смещением на основе кривизны, чтобы обеспечить быструю конвергенцию криволинейных MPC. Метод предварительного смещения на основе кривизны сокращает количество необходимых итераций без снижения точности коррекции и экономит время работы.
Возможность одновременной коррекции
Calibre NMCLmpc может исправлять криволинейные и прямоугольные формы за один проход, применяя к прямоугольным формам те же правила, что и в стандартной рецептуре.
Готовы узнать больше о Calibre?
Мы всегда готовы ответить на ваши вопросы! Свяжитесь с нашей командой уже сегодня
Звонок: 1-800-547-3000
Консультационные услуги Calibre
Мы поможем вам внедрить, развернуть, настроить и оптимизировать сложные среды проектирования. Прямой доступ к проектированию и разработке продуктов позволяет нам использовать глубокие знания в предметных и предметных областях.
Центр поддержки
Центр поддержки Siemens предоставляет все необходимое в одном удобном месте -
база знаний, обновления продуктов, документация, заявки на поддержку, информация о лицензиях/заказах и многое другое.
Проектирование и производство микросхем Calibre
Набор инструментов Calibre обеспечивает точную, эффективную и всестороннюю проверку и оптимизацию микросхем на всех технологических узлах и стилях проектирования, сводя к минимуму потребление ресурсов и сроки замены пленки.