Calibre Curvilinear MDP

Требования к структурированию литографических процессов нового поколения и необходимость снижения производственных затрат побудили литографов изучить преимущества криволинейных масок. Многочисленные исследования, подкрепленные экспериментальными результатами, продемонстрировали литографическое преимущество криволинейных фотошаблонов перед прямолинейными аппроксимациями. Технологические возможности изготовления криволинейных масок были ограничены из-за архитектуры устройств записи лучей переменной формы, что делало их недоступными как с точки зрения подготовки данных масок, так и с точки зрения написания масок. Наличие многолучевых масок устранило эти препятствия и значительно приблизило внедрение криволинейных масок к реальности.

Прочтите Впереди повороты! Производство микросхем готовится к выпуску криволинейных масок чтобы узнать больше о преимуществах криволинейных масок.

Набор инструментов Calibre Curvilinear MDP Curvilinear MDP позволяет беспрепятственно продолжать манипуляции с данными, необходимые для методов повышения разрешения (RET), таких как вставка вспомогательных функций с субразрешением (SRAF) и оптическая коррекция процессов (OPC), а также преобразование маскировочного процесса (MPC) в формат данных маски за один пакетный запуск.

Традиционно составители многолучевых масок поддерживали в своих путях передачи данных данные с кусочно-линейной (PWL). Недавно поставщики средств записи многолучевых масок внедрили встроенную поддержку многоугольников в инструменты записи многолучевых масок нового поколения. Цель мультигона заключается в представлении криволинейных данных в собственном формате кривых для сжатия размера файла в потоках масок. Количество вершин, используемых для представления многоугольных данных, значительно меньше, чем количество вершин, используемых для представления кусочно-линейных данных, что приводит к уменьшению размера файла за счет использования собственных кривых для криволинейных данных.

На рисунке ниже показан пример PWL слева и мультигона справа.

Решение Calibre Curvilinear MDP поддерживает многолучевые потоки трещин на основе многоугольника и поддерживает новейшие многолучевые форматы, такие как MBW 3.0 от IMS и MBF 2.1 от NuFlare.

• Проверка многоугольного расстояния: проверка многоугольного расстояния предназначена для измерения расстояния между сечениями сплайнов на многоугольных слоях с обеспечением соответствия проектным ограничениям.
• Проверки соотношения глубины и ширины многоугольника: проверка глубины и ширины гарантирует, что минимальная ширина многоугольной фигуры находится в допустимом диапазоне, особенно при измерении в заданном диапазоне глубин.
• Проверка угла многоугольника: проверка угла оценивает геометрию мультигона путем вычисления угла сплайна в каждой точке интереса (POI) для указанного радиуса.
• Проверка многоугольной кривизны: проверка кривизны предназначена для оценки гладкости и качества изгиба каждого участка сплайна Безье в многоугольнике путем вычисления минимального радиуса кривизны по его контуру.

На рисунке выше показаны примеры внешней проверки расстояния (вверху слева), внутренней проверки расстояния (вверху справа), обнаружения шипов (внизу слева) и проверки глубины ширины (внизу справа).