Ресурсы по вычислительной литографии Calibre
Изучите библиотеку ресурсов Calibre Computational Lithography и узнайте, как Calibre улучшает технологические возможности и оптимизирует маски для литографии и формирования паттернов, применяя лучшие в отрасли алгоритмы оптической коррекции приближения для фотолитографии и процессов экстремального ультрафиолетового излучения (EUV).