Motor OPC curbiliniar
Motorul OPC curbiliniar Calibre poate converti forme dreptunghiulare în modele curbilinii și se poate asigura că obiectivul EPE este atins. Efectuează verificări de imprimare SRAF pentru forme curbate și aplică simultan constrângeri MRC pentru a asigura generarea de măști curbiliniare de înaltă calitate.
Soluție rapidă OPC curbiliniară cu cip complet
Calibre NMCloPC permite fluxul OPC curbiliniar hibrid ILT, care oferă calitatea litografică necesară cu un timp de rulare mai rapid decât cu o soluție ILT completă. Acest flux poate fi utilizat pentru a genera măști curbiliniare necesare pentru Silicon Photonics sau pentru modele rectilinii pentru logică sau memorie.
Reprezentarea poligonului curbiliniar nativ
Spre deosebire de motoarele OPC tradiționale care se bazează pe mișcarea marginilor Manhattan, Calibre NMCloPC aplică reprezentarea poligonului curbiliniar nativ cu spline Bezier și efectuează corecția bazată pe spline prin mutarea unei „curbe OPC”. Acest nou format nu numai că beneficiază de îmbunătățirea preciziei, ci și atenuează explozia dimensiunii datelor introdusă de măștile curbiliniare.
Soluții avansate de modelare OPC pentru măști curbilinii
Modelul de bază Calibre OPC poate modela cu exactitate efectele câmpului electromagnetic 3D al măștii pentru măștile curbiliniare. Utilizarea contururilor SEM pentru calibrarea modelului la modele curbiliniare îi permite să descrie comportamentul real pe plachetă. Tehnologia avansată Calibre NMCloPC maximizează dreptul la litografie și atinge precizia OPC necesară.
Sunteți gata să aflați mai multe despre Calibre?
Suntem gata să vă răspundem la întrebări! Luați legătura cu echipa noastră astăzi
Sunați la: 1-800-547-3000
Servicii de consultanță Calibre
Vă ajutăm să adoptați, să implementați, să personalizați și să optimizați mediile complexe de proiectare. Accesul direct la inginerie și dezvoltare de produse ne permite să profităm de expertiza profundă în domeniu și subiect.
Centrul de asistență
Centrul de asistență Siemens vă oferă totul într-o singură locație ușor de utilizat -
bază de cunoștințe, actualizări de produse, documentație, cazuri de asistență, informații despre licență/comandă și multe altele.
Proiectare și fabricare IC Calibre
Suita de instrumente Calibre oferă verificare și optimizare IC precise, eficiente și cuprinzătoare pentru toate nodurile de proces și stilurile de proiectare, minimizând în același timp utilizarea resurselor și programările de înregistrare.