Corecția procesului de mască (MPC) pentru modele curbiline
Calibre NMCLMPC efectuează corecția procesului de mascare (MPC) pentru machete de intrare cu poligoane curbiliniare, cum ar fi cele produse de OPC cu tehnologia inversă litografie (ILT), precum și structuri fotonice de siliciu.
Fragmentare inovatoare bazată pe curbură
Fragmentarea bazată pe curbură în motorul Calibre NMCLMPC determină lungimea fragmentului de margine pe baza curburii locale și oferă rezultate fezabile pentru corecția MPC curbiliniară. Această caracteristică încearcă să co-optimizeze dimensiunea fișierului, precizia și timpul de execuție pentru corectarea procesului de mască curbilinie.
Opțiunea de a obține o convergență rapidă
Calibrul NMCLMPC poate fi utilizat cu pre-polarizare bazată pe curbură pentru a permite convergența rapidă pentru MPC curbiliniar. Metoda pre-bias bazată pe curbură reduce numărul de iterații necesare fără a degrada precizia corecției și economisește timpul de rulare.
Capacitate de corecție simultană
Calibre NMCLMPC poate corecta forme curbiliniare și dreptunghiulare într-o singură rulare aplicând aceleași reguli ca într-o rețetă standard formelor dreptunghiulare.
Sunteți gata să aflați mai multe despre Calibre?
Suntem gata să vă răspundem la întrebări! Luați legătura cu echipa noastră astăzi
Sunați la: 1-800-547-3000
Servicii de consultanță Calibre
Vă ajutăm să adoptați, să implementați, să personalizați și să optimizați mediile complexe de proiectare. Accesul direct la inginerie și dezvoltare de produse ne permite să profităm de expertiza profundă în domeniu și subiect.
Centrul de asistență
Centrul de asistență Siemens vă oferă totul într-o singură locație ușor de utilizat -
bază de cunoștințe, actualizări de produse, documentație, cazuri de asistență, informații despre licență/comandă și multe altele.
Proiectare și fabricare IC Calibre
Suita de instrumente Calibre oferă verificare și optimizare IC precise, eficiente și cuprinzătoare pentru toate nodurile de proces și stilurile de proiectare, minimizând în același timp utilizarea resurselor și programările de înregistrare.