Generarea de forme de mască curbilinie în corecția de proximitate optică (OPC) în loc de forme dreptunghiulare pure devine din ce în ce mai realistă ca metodă de îmbunătățire a performanței litografiei plachetelor. Principalul beneficiu al utilizării formelor curbiline este o fereastră de proces îmbunătățită, ceea ce înseamnă că imaginea de plachetă este mai puțin sensibilă la condițiile de doză și focalizare în timpul expunerii. Cu puterea de calcul crescută a celor mai recente clustere de înaltă performanță și disponibilitatea scriitorilor de mască cu mai multe fascicuri (MBMW), aceste beneficii ale litografiei cu plachetă pot fi realizate la nodurile tehnologice în curs de dezvoltare.
O provocare foarte practică pentru punerea în producție a măștilor cu forme curbiline este disponibilitatea unor verificări fiabile ale regulilor de mască (MRC). Motorul OPC nu numai că trebuie să genereze forme care sunt manufacturabile, dar magazinul de măști are nevoie și de o metodă de verificare a faptului că datele de mască primite sunt manufacturabile. Pentru formele de mască curbilinie, acest lucru este mai dificil decât pentru formele de mască dreptunghiulară, deoarece verificările simple ale lățimii și spațiului nu mai sunt suficiente.
În această lucrare, discutăm un set cuprinzător de limite MRC și demonstrăm eficacitatea unui motor MRC care funcționează pe date de intrare curbiliniare. Rules utilizate aici includ lățimea minimă a caracteristicilor expuse, spațiul minim între caracteristicile expuse, curbura minimă a formelor convexe și concave, precum și suprafața minimă a caracteristicilor expuse.
