Fluxo OPC de memória
Um fluxo de substituição que garante um tempo de execução rápido e perfeita consistência de correção em toda a matriz, fornece uma extensão através da plataforma de processamento, bem como oferece trabalho de integração e refinamento para simetria e consistência.
Uma solução de infra-estrutura de fluxo
Calibre RET MEMOPC fornece uma solução de infra-estrutura de fluxo com identificação de matriz/célula, módulo de inserção SRAF/OPC e restauração de matrizes.
Várias opções de correção OPC e inserção SRAF
O fluxo Calibre RET MEMOPC dá aos utilizadores a flexibilidade de selecionar as ferramentas necessárias para a inserção SRAF e correção OPC. As opções de inserção SRAF incluem Calibre CNSRaf, Calibre OPCSBar e o uso do motor Calibre PxOpc ou ILT. Para a correção OPC, o fluxo suporta o uso do Calibre OPCPro, Calibre nmOPC, Calibre nmCLOPC e Calibre PxOpc.
Cumpre o requisito de fabricar dispositivos de memória
Calibre RET MEMOPC foi desenvolvido para superar os desafios de fabricação de dispositivos de memória e produtos de sensores de imagem que exigem abordagens de processamento com consistência geométrica e tempos de processamento aceitáveis. O Calibre RET MEMOPC pode fornecer a solução com tempo de execução superior, consistência e qualidade litográfica.
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