As ferramentas Calibre Mask Data Preparation (MDP) permitem a conversão e verificação do formato de dados da máscara para a fabricação de máscaras, incluindo os mais recentes formatos de máscara multi-feixe numa plataforma Calibre totalmente compatível.
Os produtos Calibre Mask Data Preparation fazem parte da plataforma integrada Calibre, permitindo-lhe concluir todas as tarefas de processamento de aprimoramento de resolução e conversão de formato de dados de máscara em um lote de fabricação de máscara, executado em lote usando uma única linguagem de controlo com o melhor desempenho da categoria.
Exporta dados de criação de máscaras diretamente para formatos de escrita de máscara de destino sem alterar ferramentas ou criar grandes ficheiros intermédios. Os formatos suportados incluem MEBES, JEOL, Micronic, NuFlare VSB e MBF, OASIS.MASK e OASIS.MBW.
Verifica os dados finais do gravador da máscara em relação à definição original de GDSII ou OASIS. Suporta o rastreamento de atualizações de design, confirmando a presença de alterações nos dados finais da máscara.
Permite uma revisão rápida e fácil dos dados de design nos formatos GDSII e OASIS, bem como em todos os formatos populares de padrões de gravador de máscaras e conjuntos de dados através dos respetivos job decks.
Reduz o custo da máscara e o tempo de escrita da máscara, diminuindo a contagem total de disparos através do pré-processamento avançado dos dados fraturados.
Permite a fusão entre chips altamente escalável para a fratura NuFlare VSB11.
Estende o conjunto de linguagem de programação tcl disponível no Calibre MDPView com funções dedicadas que suportam a extração e validação de locais adequados para a metrologia de máscaras.