Calibre Curvilinear MDP

Os requisitos de padronização dos processos litográficos de próxima geração e a necessidade de manter os custos de fabrico baixos fizeram com que os litógrafos explorassem as vantagens das máscaras curvilíneas. Vários estudos apoiados pelos resultados experimentais demonstraram a vantagem litográfica das fotomáscaras curvilíneas sobre as aproximações retilíneas. A capacidade de fabricação de máscaras curvilíneas tem sido limitada devido à arquitetura dos escritores de feixe de formato variável, o que o tornou proibitivo tanto da preparação dos dados da máscara como das perspectivas de escrita da máscara. A disponibilidade de escritores de máscaras multi-feixe removeu esses obstáculos e trouxe a introdução de máscaras curvilíneas muito mais perto da realidade.

Ler Curvas à frente! Fabricação de IC prepara-se para máscaras curvilíneas para saber mais sobre os benefícios das máscaras curvilíneas.

O conjunto de ferramentas Calibre Curvilinear MDP permite a continuação perfeita das manipulações de dados necessárias para Técnicas de Melhoria de Resolução (RET), tais como a inserção de Recursos de Assistência de Sub-Resolução (SRAFs) e Optical Process Correction (OPC), e Mask Process Correction (MPC) para a conversão do formato de dados da máscara em uma execução em lote.

Tradicionalmente, os escritores de máscaras multifeixe suportam dados Lineares Piecewise-Linear (PWL) nos seus caminhos de dados. Recentemente, os fornecedores de gravadores de máscaras multifeixe introduziram o suporte multigono nativo na nova geração de ferramentas de gravador de máscaras multifeixe. O objetivo do multigon é representar dados curvilíneos com formato de curva nativo para compactação do tamanho do ficheiro nos fluxos de máscara. O número de vértices utilizados para representar os dados multigonais é substancialmente menor do que os vértices usados para representar os dados lineares por partes, resultando na redução do tamanho do ficheiro devido ao uso de curvas nativas para dados curvilíneos.

A imagem abaixo mostra um exemplo de PWL à esquerda e multigon à direita.

A solução Calibre Curvilinear MDP suporta fluxos de fratura multifeixe baseados em multigon e está habilitada com os mais recentes formatos multifeixe, como o MBW 3.0 da IMS e o MBF 2.1 da NuFlare.

• Verificação de distância multigon: A verificação de distância multigon foi projetada para medir a distância entre seções spline em camadas multigon, garantindo a conformidade com as restrições do projeto.
• Verificações de largura de profundidade multigon e taxa de largura de profundidade: A verificação de largura de profundidade garante que a largura mínima de uma forma multigon está dentro da faixa aceitável, especificamente quando medida em uma determinada faixa de profundidade.
• Verificação de Ângulo Multígono: A Verificação do Ângulo avalia a geometria do multigono computando o ângulo spline em cada Ponto de Interesse (POI) para um raio especificado.
• Verificação de curvatura multigon: O Verificação de Curvatura foi concebido para avaliar a suavidade e a qualidade de curvatura de cada secção de spline Bezier dentro de um multigon, calculando o raio mínimo de curvatura ao longo do seu contorno.

A imagem acima mostra exemplos de verificação de distância externa (canto superior esquerdo), verificação de distância interna (canto superior direito), detecção de pico (canto inferior esquerdo) e verificação de profundidade e largura (inferior direito).