Motor OPC curvilíneo
O motor OPC curvilíneo Calibre pode converter formas retangulares em padrões curvilíneos e garantir que a meta de EPE seja alcançada. Ele realiza verificações de impressão SRAF para formas curvas e aplica restrições MRC simultaneamente para garantir a geração de máscaras curvilíneas de alta qualidade.
Solução OPC curvilínea rápida e completa
O Calibre NMCloPC permite o fluxo OPC curvilíneo ILT híbrido, que oferece a qualidade litográfica necessária com um tempo de execução mais rápido do que com uma solução ILT completa. Esse fluxo pode ser usado para gerar máscaras curvilíneas necessárias para a Fotônica de Silício ou para projetos retilíneos para lógica ou memória.
Representação de polígono curvilíneo nativo
Ao contrário dos motores OPC tradicionais que dependem do movimento de bordas de Manhattan, o Calibre nmcLOPC aplica a representação nativa de polígonos curvilíneos com splines de Bezier e executa a correção baseada em splines movendo uma “curva OPC”. Esse novo formato não só beneficia a melhoria da precisão, mas também atenua a explosão do tamanho dos dados introduzida pelas máscaras curvilíneas.
Soluções avançadas de modelagem OPC para máscaras curvilíneas
O modelo central Calibre OPC pode modelar com precisão os efeitos do campo eletromagnético 3D da máscara para máscaras curvilíneas. O uso de contornos SEM para calibração do modelo para padrões curvilíneos permite descrever o comportamento real na pastilha. A avançada tecnologia Calibre NMCloPC maximiza o direito à litografia e alcança a precisão OPC necessária.
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Serviços de consultoria Calibre
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Projeto e fabricação do Calibre IC
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