Krzywoliniowy silnik OPC
Silnik opc krzywoliniowy Calibre może przekształcać prostokątne kształty w krzywoliniowe wzory i upewnić się, że cel EPE został osiągnięty. Wykonuje kontrole drukowania SRAF pod kątem zakrzywionych kształtów i jednocześnie stosuje wiązania MRC, aby zapewnić wysokiej jakości generowanie krzywoliniowych masek.
Szybkie pełnochipowe krzywoliniowe rozwiązanie OPC
Calibre nmCLOPC umożliwia hybrydowy przepływ krzywoliniowy OPC ILT, który zapewnia wymaganą jakość litograficzną przy szybszym czasie pracy niż w przypadku pełnego rozwiązania ILT. Przepływ ten może być wykorzystany do generowania krzywoliniowych masek potrzebnych do fotoniki krzemowej lub do projektów prostoliniowych dla logiki lub pamięci.
Natywna krzywoliniowa reprezentacja wielokąta
W przeciwieństwie do tradycyjnych silników OPC, które opierają się na ruchu krawędzi Manhattanu, Calibre nmCLOPC stosuje natywną krzywoliniową reprezentację wielokąta ze splajnami Beziera i wykonuje korektę opartą na szplinach poprzez przesuwanie „krzywej OPC”. Ten nowy format nie tylko poprawia dokładność, ale także łagodzi eksplozję wielkości danych wprowadzoną przez maski krzywoliniowe.
Zaawansowane rozwiązania do modelowania OPC dla masek krzywoliniowych
Model rdzenia Calibre OPC może dokładnie modelować efekty pola elektromagnetycznego 3D maski dla masek krzywoliniowych. Zastosowanie konturów SEM do kalibracji modelu do wzorców krzywoliniowych pozwala opisać rzeczywiste zachowanie na płytce. Zaawansowana technologia Calibre nmCLOPC maksymalizuje uprawnienia do litografii i osiąga wymaganą dokładność OPC.
Gotowy, aby dowiedzieć się więcej o Calibre?
Jesteśmy gotowi odpowiedzieć na Twoje pytania! Skontaktuj się z naszym zespołem już dziś
Zadzwoń: 1-800-547-3000
Usługi doradcze Calibre
Pomagamy Ci zaadoptować, wdrażać, dostosowywać i optymalizować złożone środowiska projektowe. Bezpośredni dostęp do inżynierii i rozwoju produktu pozwala nam korzystać z głębokiej wiedzy specjalistycznej w dziedzinie i tematyce.
Centrum wsparcia
Centrum pomocy technicznej Siemens zapewnia wszystko w jednym, łatwym w obsłudze miejscu -
baza wiedzy, aktualizacje produktów, dokumentacja, przypadki wsparcia, informacje o licencji/zamówieniach i nie tylko.
Projektowanie i produkcja Calibre IC
Pakiet narzędzi Calibre zapewnia dokładną, wydajną, kompleksową weryfikację i optymalizację układów scalonych we wszystkich węzłach procesu i stylach projektowania, jednocześnie minimalizując zużycie zasobów i harmonogramy taśmowania.