Przegląd
Calibre nmCLMPC
Korekcja procesu maskowania (MPC) zapewnia wierność wzoru maski w zaawansowanej produkcji masek węzłów. Calibre NMCLMPC zapewnia niezbędną zdolność do korekcji procesu maski krzywoliniowej, aby sprostać oczekiwaniom dotyczącym dokładności korekcji, a także czasu przetwarzania.
Skontaktuj się z naszym zespołem technicznym: 1-800-547-3000
Korekcja procesu maskowania (MPC) dla projektów krzywoliniowych
Calibre NMCLMPC wykonuje korekcję procesu maskowania (MPC) dla układów wejściowych z wielokątami krzywoliniowymi, takich jak te wytwarzane przez Inverse Lithography Technology (ILT) OPC, a także krzemowych struktur fotonicznych.
Innowacyjna fragmentacja oparta na krzywiznach
Fragmentacja oparta na krzywiznie w silniku Calibre NMCLMPC określa długość fragmentu krawędzi na podstawie lokalnej krzywizny i zapewnia wyjście możliwe do krzywoliniowej korekty MPC. Ta funkcja ma na celu współoptymalizację rozmiaru pliku, dokładności i czasu wykonania w celu korekty procesu maski krzywoliniowej.
Opcja osiągnięcia szybkiej konwergencji
Calibre nmCLMPC może być stosowany z wstępnym odchyleniem opartym na krzywiznie, aby umożliwić szybką konwergencję dla krzywoliniowego MPC. Metoda wstępnego odchylenia oparta na krzywej zmniejsza liczbę wymaganych iteracji bez obniżania dokładności korekty i oszczędza czas działania.
Możliwość jednoczesnej korekty
Calibre NMCLMPC może korygować krzywoliniowe i prostokątne kształty w jednym przebiegu, stosując te same zasady, co w standardowej recepturze do kształtów prostokątnych.
Gotowy, aby dowiedzieć się więcej o Calibre?
Jesteśmy gotowi odpowiedzieć na Twoje pytania! Skontaktuj się z naszym zespołem już dziś
Zadzwoń: 1-800-547-3000
Usługi doradcze Calibre
Pomagamy Ci zaadoptować, wdrażać, dostosowywać i optymalizować złożone środowiska projektowe. Bezpośredni dostęp do inżynierii i rozwoju produktu pozwala nam korzystać z głębokiej wiedzy specjalistycznej w dziedzinie i tematyce.
Centrum wsparcia
Centrum pomocy technicznej Siemens zapewnia wszystko w jednym, łatwym w obsłudze miejscu -
baza wiedzy, aktualizacje produktów, dokumentacja, przypadki wsparcia, informacje o licencji/zamówieniach i nie tylko.
Projektowanie i produkcja Calibre IC
Pakiet narzędzi Calibre zapewnia dokładną, wydajną, kompleksową weryfikację i optymalizację układów scalonych we wszystkich węzłach procesu i stylach projektowania, jednocześnie minimalizując zużycie zasobów i harmonogramy taśmowania.