Skip to main content
Denne siden vises ved hjelp av automatisk oversettelse. Vis på engelsk i stedet?
Teknisk papir

Avanserte ILT-løsninger for å produsere fotonikkdesign

I det siste tiåret har fotonikkteknologi vært en fremvoksende teknologi for optisk telekommunikasjon og optiske sammenkoblinger innen mikroelektronikk. Som et resultat har et stort mangfold av fotoniske designmetoder slått seg sammen med svært utfordrende skalaer og former. Fremstilling av slike krumme og kritiske fotoniske former krever avanserte oppløsningsforbedringsteknikker (RET), inkludert inverse litografiteknikker (ILT) med 193 nm nedsenkningslitografi. I denne artikkelen undersøker vi produksjonsutfordringene til flere fotonikkenheter ved hjelp av avanserte ILT-løsninger og virkningen av SRAF-innsetting på å levere god litokvalitet, inkludert kantplasseringsfeil (EPE), PVBand og linjekantgrovhet (LER). Vi vil demonstrere hvordan våre Calibre ILT-løsninger muliggjør produksjon av de mest utfordrende fotonikkdesignene.

Les teknisk papir
En integrert krets og trykt kretskort
Viktige funksjoner

Krøllete maler for innsetting av SRAF med full brikke

Malbasert tilnærming tilbyr litografikvalitet som tilsvarer ILT SRAF-er når det gjelder prosessvinduvariasjon (PV-bånd), felles fokusdybde (DOF) og bildelogghelling (ILS), samtidig som den forbedrer kjøretidseffektiviteten betydelig - raskere enn opprinnelig ILT SRAF-syntese.

Calibre NMCLSraf utvalgte ressurser

Utforsk våre utvalgte ressurser for å lære mer om Calibre NMCLSraf.

Ofte stilte spørsmål

Calibre NMCLSraf ofte stilte spørsmål

Klar til å lære mer om Calibre?

Vi står klar til å svare på spørsmålene dine! Ta kontakt med teamet vårt i dag

Ring: 1-800-547-3000

Snakk med en ekspert

Calibre konsulenttjenester

Vi hjelper deg med å ta i bruk, distribuere, tilpasse og optimalisere dine komplekse designmiljøer. Direkte tilgang til ingeniør- og produktutvikling lar oss utnytte dyp domene- og fagkompetanse.

Konsulenttjenester

Støttesenter

Siemens Support Center gir deg alt på ett brukervennlig sted -
kunnskapsbase, produktoppdateringer, dokumentasjon, støttesaker, lisens/bestillingsinformasjon og mer.

Kontakt kundestøtte

Kaliber IC-design og produksjon

Calibre-verktøypakken leverer nøyaktig, effektiv, omfattende IC-verifisering og optimalisering på tvers av alle prosessnoder og designstiler samtidig som ressursbruk og tapeout-planer minimeres.

Lær av eksperter