Krøllinjet OPC-motor
Calibre krumlinjede OPC-motor kan konvertere rektangulære former til krumlinjede mønstre og sørge for at EPE-målet oppnås. Den utfører SRAF-utskriftskontroller for buede former og bruker MRC-begrensninger samtidig for å sikre generering av krøllete masker av høy kvalitet.
Rask Full-Chip Curvilinear OPC-løsning
Caliber NMCloPC muliggjør hybrid ILT krumlinjet OPC-flyt som leverer den nødvendige litografiske kvaliteten med raskere kjøretid enn med en full ILT-løsning. Denne flyten kan brukes til å generere krumlinjede masker som trengs for Silicon Photonics, eller for rettlinjede design for logikk eller minne.
Innfødt krumlinjet polygonrepresentasjon
I motsetning til tradisjonelle OPC-motorer som er avhengige av Manhattan-kantbevegelse, bruker Calibre NMCloPC opprinnelig krumlinjet polygonrepresentasjon med Bezier-punktkurver og utfører punktbasert korreksjon ved å flytte en «OPC-kurve». Dette nye formatet er ikke bare til fordel for nøyaktighetsforbedringen, men reduserer også datastørrelseseksplosjon introdusert av krumlinjede masker.
Avanserte OPC-modelleringsløsninger for krumlinjede masker
Calibre OPC-kjernemodellen kan nøyaktig modellere masken 3D elektromagnetiske felteffekter for krumlinjede masker. Bruken av SEM-konturer for modellkalibrering til krumlinjede mønstre gjør det mulig å beskrive den virkelige oppførselen på wafer. Den avanserte Calibre NMCloPC-teknologien maksimerer litografirettighetene og oppnår den nødvendige OPC-nøyaktigheten.
Klar til å lære mer om Calibre?
Vi står klar til å svare på spørsmålene dine! Ta kontakt med teamet vårt i dag
Ring: 1-800-547-3000
Calibre konsulenttjenester
Vi hjelper deg med å ta i bruk, distribuere, tilpasse og optimalisere dine komplekse designmiljøer. Direkte tilgang til ingeniør- og produktutvikling lar oss utnytte dyp domene- og fagkompetanse.
Støttesenter
Siemens Support Center gir deg alt på ett brukervennlig sted -
kunnskapsbase, produktoppdateringer, dokumentasjon, støttesaker, lisens/bestillingsinformasjon og mer.
Kaliber IC-design og produksjon
Calibre-verktøypakken leverer nøyaktig, effektiv, omfattende IC-verifisering og optimalisering på tvers av alle prosessnoder og designstiler samtidig som ressursbruk og tapeout-planer minimeres.