Kromlijnige OPC-motor
De Calibre curvilinear OPC-engine kan rechthoekige vormen omzetten in kromlijnige patronen en ervoor zorgen dat het EPE-doel wordt bereikt. Het voert SRAF-printcontroles uit voor gebogen vormen en past tegelijkertijd MRC-beperkingen toe om te zorgen voor een hoogwaardige generatie van kromlijnige maskers.
Snelle, kromlijnige OPC-oplossing met volledige chip
Calibre nMcLOPC maakt de hybride kromlijnige OPC-flow van de ILT mogelijk, die de vereiste lithografische kwaliteit levert met een snellere looptijd dan met een volledige ILT-oplossing. Deze stroom kan worden gebruikt om kromlijnige maskers te genereren die nodig zijn voor siliciumfotonica, of voor rechtlijnige ontwerpen voor logica of geheugen.
Oorspronkelijke weergave van kromlijnige veelhoeken
In tegenstelling tot traditionele OPC-engines die afhankelijk zijn van bewegingen aan de randen van Manhattan, past Calibre nMcLOPC de oorspronkelijke kromlijnige polygoonrepresentatie toe met Bezier-splines en voert een correctie op basis van spline uit door een „OPC-curve” te verplaatsen. Dit nieuwe formaat komt niet alleen de verbetering van de nauwkeurigheid ten goede, maar beperkt ook de toename van de gegevensgrootte als gevolg van kromlijnige maskers.
Geavanceerde OPC-modelleringsoplossingen voor kromlijnige maskers
Het Calibre OPC-kernmodel kan de 3D-elektromagnetische veldeffecten van het masker voor kromlijnige maskers nauwkeurig modelleren. Het gebruik van SEM-contouren voor modelkalibratie op kromlijnige patronen maakt het mogelijk om het werkelijke gedrag op een wafel te beschrijven. De geavanceerde Calibre nMcLOPC-technologie maximaliseert het recht op lithografie en bereikt de vereiste OPC-nauwkeurigheid.
Klaar om meer te weten te komen over Calibre?
We staan klaar om uw vragen te beantwoorden! Neem vandaag nog contact op met ons team
Oproep: 1-800-547-3000
Adviesdiensten van Calibre
Wij helpen u bij het adopteren, implementeren, aanpassen en optimaliseren van uw complexe ontwerpomgevingen. Dankzij directe toegang tot engineering en productontwikkeling kunnen we gebruikmaken van diepgaande domein- en vakexpertise.
Ondersteuningscentrum
Het Siemens Support Center biedt u alles op één eenvoudig te gebruiken locatie -
kennisbank, productupdates, documentatie, ondersteuningscases, licentie-/bestelinformatie en meer.
Calibre IC ontwerp en productie
De Calibre-toolsuite biedt nauwkeurige, efficiënte en uitgebreide IC-verificatie en -optimalisatie voor alle procesknooppunten en ontwerpstijlen, terwijl het gebruik van hulpbronnen en tapeout-schema's tot een minimum wordt beperkt.