곡선형 OPC 엔진
칼리버 곡선형 OPC 엔진은 직사각형 모양을 곡선 패턴으로 변환해서 EPE 목표를 확실히 달성할 수 있어요.구부러진 모양에 대한 SRAF 프린팅 검사를 수행하고 MRC 제약 조건을 동시에 적용하여 고품질 곡선형 마스크 생성을 보장해요.
고속 풀칩 곡선형 OPC 솔루션
Calibre NMCloPC는 하이브리드 ILT 곡선형 OPC 흐름을 지원하여 전체 ILT 솔루션보다 빠른 런타임으로 필요한 리소그래피 품질을 제공해요.이 흐름은 실리콘 포토닉스나 로직선이나 메모리의 직선 설계에 필요한 곡선형 마스크를 생성하는 데 사용할 수 있어요.
네이티브 커브선형 폴리곤 표현
맨해튼 엣지 움직임에 의존하는 기존 OPC 엔진과 달리, Calibre NMCloPC는 베지어 스플라인으로 네이티브 곡선 다각형 표현을 적용하고 “OPC 곡선”을 움직여 스플라인 기반 보정을 수행해요.이 새로운 형식은 정확도 향상에 도움이 될 뿐만 아니라 곡선형 마스크로 인한 데이터 크기 폭증을 완화해요.
곡선형 마스크를 위한 고급 OPC 모델링 솔루션들
칼리버 OPC 코어 모델은 곡선형 마스크의 마스크 3D 전자기장 효과를 정확하게 모델링할 수 있어요.곡선 패턴에 대한 모델 캘리브레이션에 SEM 컨투어를 사용하면 웨이퍼의 실제 동작을 설명할 수 있어요.고급 Calibre NMCloPC 기술은 리소그래피 자격을 극대화하고 필요한 OPC 정확도를 달성해요.
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