곡선형 마스크는 첨단 기술 노드에 상당한 이점을 제공해요.가장 큰 장점은 기존의 직선 모양에 비해 프로세스 윈도우가 개선됐다는 거예요.이렇게 프로세스 창이 커지면 웨이퍼 리소그래피 성능이 향상되고 프린트된 이미지가 공정 변동에 덜 민감해져요.곡선형 역 리소그래피 기술 (ILT) 결과는 최고 초점 깊이 (CdOF) 와 같은 프로세스 윈도우 메트릭을 가장 잘 산출하는 것으로 입증됐어요.전반적으로 곡선형 마스크는 높은 웨이퍼 성능을 제공하는 고유한 힘 때문에 차세대 마스크 기술로 점점 더 인식되고 있어요.

기술 문서 읽어보세요”앞으로의 곡선이에요!IC 제조사는 커빌리니어 마스크를 준비해요“그리고 커빌리니어 마스크의 이점에 대해 더 알아보세요.

곡선형 마스크는 본질적으로 날카로운 각도, T/Y 접합부, 날카로운 회전 같은 특징을 포함한 모양을 가지고 있어요.따라서 간단한 확인 검사로는 충분하지 않은 경우가 많아요.예를 들어 주로 직선 모서리에 수직으로 측정하는 직사각형 모양과 달리 곡선형 모양의 가장자리는 계속 “방향이 변경”돼요.최소 거리를 측정한다는 건 진짜 최소값을 찾기 위해 여러 방향으로 측정해야 한다는 뜻이에요.

곡선형 마스크는 보완적인 영역 검사가 필요해요.곡선형 모양에는 최소 영역 검사가 중요해요. 간단한 치수 검사에는 통과했지만 작은 2D 피처에 마스크 블러가 크게 영향을 미치기 때문에 여전히 인쇄에는 실패하는 조건을 포착할 수 있기 때문이죠.또한 곡선형 마스크에는 고유한 마스크 규칙 검사가 필요해요. 예를 들어 직사각형 마스크에는 필요하지 않은 최대 곡률 검사가 필요해요.

칼리버는 두 가지 접근 방식을 통해 커비선형 마스크 규칙 검사 (CLMRC) 검증을 제공해요.한 가지 접근 방식은 Calibre OPCVerify를 활용하는 거예요.Calibre OPCVerify의 CLMRC 기본 검사 예로는 곡률 반경 확인, 최소 너비 계산, 폭 깊이 비율 계산, 모서리 간 거리 측정, 스파이크 각도 확인, 멀티곤 레이어의 스플라인 확인 등이 있어요.

다른 접근법은 칼리버 RET CLMRC예요.곡선형 마스크에서 CLMRC 검사를 수행하도록 설계된 표준 검증 규칙 형식 (SVRF) 명령 세트예요.칼리버 OPCVerify에서 사용할 수 있는 모든 CLMRC 검사는 칼리버 RET CLMRC에서 지원돼요.

머신 러닝 분류가 필요한 이유는 맨해튼 설계에서 흔히 사용되는 기하학 기반 오류 분류로는 모서리 각도 의존성, 큰 꼭지점/모서리 수, 그리드 스냅 불일치로 인해 곡선형 설계에 한계가 있기 때문이에요.머신 러닝 접근법은 꼭짓점과 모서리에만 의존하지 않고 오류 위치의 레이아웃 컨텍스트에서 파생된 특징 벡터를 기반으로 오류를 분류해요.주요 이점은 검토할 고유 오류 범주 수가 크게 줄어들어 오류 검토 프로세스를 훨씬 더 쉽게 관리할 수 있다는 거예요.머신 러닝 접근 방식을 사용하면 모서리 유형 (볼록, 오목, 직선) 또는 폭이나 공간 같은 기하학적 속성 같은 기준에 따라 오류를 추가로 세분화하여 결과를 미세 조정할 수 있는 유연성을 제공해요.

기계 학습 기반 분류는 복잡한 패턴 전반의 오류 유형을 자동화되고 효율적이며 확장 가능하게 식별할 수 있게 해주기 때문에 곡선 레이아웃 처리의 맥락에서 특히 유용해요.머신 러닝 모델은 특징 벡터 공간의 오류를 분류하도록 훈련될 수 있어 곡선형 레이아웃의 오류 분류에 이상적인 지침을 제공해요.이 기능은 설계나 공정 문제를 빠르고 정확하게 식별하는 것이 중요한 곡선형 광학 근접 보정 (CLOPC) 검증, 곡선형 마스크 공정 보정 (CLMPC) 검증, 곡선형 마스크 규칙 검사 (CLMRC) 에 직접 적용할 수 있어요.기존의 기하학 기반 분류와 달리, 기계 학습 기반 분류를 사용하면 사용자가 분류 비율 (검토할 오류 감소) 을 높이면서도 분류 범주를 구분할 수 있을 만큼 충분히 다른 오류 예제를 구별할 수 있습니다.