カービリニア OPC エンジン
Calibreの曲線OPCエンジンは、長方形の形状を曲線パターンに変換して、EPEの目標を確実に達成することができます。曲面形状のSRAF印刷チェックを行い、同時にMRC制約を適用して、高品質の曲線マスクを生成します。
高速フルチップ曲線OPCソリューション
CCalibre nmCLOPC は、フルILTソリューションよりも短いランタイムで必要なリソグラフィ品質を実現するハイブリッドILT曲線OPCフローを可能にします。このフローは、シリコンフォトニクスに必要な曲線マスクを生成したり、ロジックやメモリの直線設計に使用したりできます。
ネイティブの曲線多角形表現
マンハッタンのエッジの動きに依存する従来のOPCエンジンとは異なり、Calibre NMClopcはベジェスプラインでネイティブの曲線ポリゴン表現を適用し、「OPCカーブ」を動かすことでスプラインベースの補正を行います。この新しい形式は、精度の向上に役立つだけでなく、曲線マスクによってもたらされるデータサイズの急増も軽減します。
曲線マスク用の高度なOPCモデリングソリューション
Calibre OPCコアモデルは、曲線マスクのマスク3D電磁場効果を正確にモデル化できます。曲線パターンへのモデルキャリブレーションにSEM輪郭を使用すると、ウェーハ上の実際の動作を説明できます。高度なCCalibre nmCLOPC テクノロジーは、リソグラフィの可能性を最大限に高め、必要なOPC精度を実現します。
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