なぜCalibre nmCLBIAS なの？
高度なリソグラフィが従来のマンハッタンの形状を超えるにつれて、マスクとウェーハの現実はもはや理想的な直線設計の意図と一致しなくなりました。角が丸く、パターンが複雑になり、マルチビームマスクライターによって可能になった曲線のマスクフローの増加により、Calibre nmCLBIAS asは、次世代プロセス向けのより正確で製造可能なパターン表現への業界のシフトをサポートします。
主な特長
曲線デザインのOPC導入前のバイアス/リターゲティング
Calibre nmCLBIAS は、12年以上にわたって大手鋳造工場で使用されてきた、製造現場で強化されたCalibre NMBiasツールの曲線バージョンです。Calibre NMcLBiasは、曲線デザインにバイアスをかけるソリューションを提供する、スケーラブルで効率的なリターゲティングツールです。
精度と品質
高品質の曲線的なプレOPCリターゲティング
Calibre NMcLBiasは、分類のためのエッジフィルタリングの改善、エッジ移動エンジンの強化、コーナーでの段階的なフラグメントスムージングにより、曲線デザインにルールベースのバイアス/リターゲティングを提供します。
スケーラブルで効率的です
優れたランタイムパフォーマンス
Calibre NMcLbiasリターゲティングエンジンは、お客様のランタイム要件を満たすスケーラブルで効率的なOPC前のリターゲティングとバイアスのソリューションを提供します。
使いやすさと柔軟性
使いやすいリターゲティングエンジン
Calibre nmCLBIAS Biasは使いやすく柔軟性があり、ユーザー定義のフラグメンテーション制御、タグベースのバイアス、バイアスルールテーブルの指定、バイアスルールの補間などが可能です。
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キャリバーICの設計と製造
Calibreツールスイートは、リソースの使用量とテープアウトスケジュールを最小限に抑えながら、すべてのプロセスノードと設計スタイルにわたって正確で効率的かつ包括的なIC検証と最適化を実現します。