Flusso OPC di memoria
Un flusso sostitutivo che garantisce un runtime rapido e una perfetta coerenza della correzione su tutto l'array, fornisce un'estensione su tutta la piattaforma di elaborazione, oltre a fornire lavoro di integrazione e perfezionamento per simmetria e coerenza.
Una soluzione di infrastruttura di flusso
Calibre RET MEMOPC fornisce una soluzione di infrastruttura di flusso con identificazione array/cella, modulo di inserimento SRAF/OPC e ripristino dell'array.
Varie scelte di correzione OPC e inserimento SRAF
Il flusso Calibre RET MEMOPC offre agli utenti la flessibilità di selezionare gli strumenti necessari per l'inserimento SRAF e la correzione dell'OPC. Le opzioni di inserimento SRAF includono Calibre CNSRAF, Calibre OPCSbar e l'uso del motore Calibre pxOPC o ILT. Per la correzione dell'OPC, il flusso supporta l'uso di Calibre OPCPro, Calibre NMOPC, Calibre NMCLoPC e Calibre PxOPC.
Soddisfa i requisiti di produzione di dispositivi di memoria
Calibre RET MEMOPC è stato sviluppato per superare le sfide della produzione di dispositivi di memoria e sensori di immagine che richiedono approcci di elaborazione con coerenza geometrica e tempi di elaborazione accettabili. Calibre RET MEMOPC è in grado di fornire la soluzione con durata, coerenza e qualità litografica superiori.
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