Görbe vonalú OPC motor
A Calibre görbe vonalú OPC motor a téglalap alakú alakzatokat görbvonalas mintákká alakítja, és biztosítja az EPE cél elérését. Az ívelt alakzatok SRAF nyomtatási ellenőrzését végzi, és egyidejűleg alkalmazza az MRC-korlátozásokat, hogy biztosítsa a kiváló minőségű görbe vonalú maszk létrehozását.
Gyors teljes chipes görbe vonalú OPC megoldás
A Calibre nmCLOPC lehetővé teszi a hibrid ILT görbe vonalú OPC áramlást, amely a szükséges litográfiai minőséget és gyorsabb futási időt biztosít, mint a teljes ILT megoldással. Ez az áramlás felhasználható a szilícium-fotonikához szükséges görbvonalas maszkok létrehozására, vagy logikai vagy memória egyenes vonalú tervekhez.
Natív görbe vonalú sokszög ábrázolása
A hagyományos OPC motorokkal ellentétben, amelyek a Manhattani élmozgásra támaszkodnak, a Calibre nmCLOPC natív görbe vonalú sokszög ábrázolást alkalmaz Bezier-splinekkel, és egy „OPC görbe” mozgatásával hajt végre szilánkalapú korrekciót. Ez az új formátum nemcsak a pontosság javítását szolgálja, hanem enyhíti a görbe vonalas maszkok által bevezetett adatméret-robbanást is.
Fejlett OPC modellező megoldások görbe vonalas maszkokhoz
A Calibre OPC magmodell pontosan modellezheti a maszk 3D elektromágneses térhatásait a görbe vonalas maszkok számára. A SEM kontúrok használata a modell görbe vonalú mintákhoz történő kalibrálásához lehetővé teszi az ostya valós viselkedésének leírását. A fejlett Calibre nmCLOPC technológia maximalizálja a litográfiai jogosultságot és eléri a szükséges OPC pontosságot.
Készen áll arra, hogy többet megtudjon a Caliber-ről?
Készen állunk, hogy válaszoljunk kérdéseire! Vegye fel a kapcsolatot csapatunkkal még ma
Hívjon: 1-800-547-3000
Kaliber tanácsadási szolgáltatások
Segítünk az összetett tervezési környezetek elfogadásában, telepítésében, testreszabásában és optimalizálásában. A mérnöki és termékfejlesztéshez való közvetlen hozzáférés lehetővé teszi számunkra, hogy kihasználjuk a mély területi és tárgyi szakértelmet.
Támogatási központ
A Siemens támogatási központ mindent egy könnyen használható helyen biztosít Önnek -
tudásbázis, termékfrissítések, dokumentáció, támogatási esetek, licenc/megrendelési információk és egyebek.
Kaliber IC tervezés és gyártás
A Calibre eszközcsomag pontos, hatékony, átfogó IC-ellenőrzést és optimalizálást biztosít minden folyamatcsomópontban és tervezési stílusban, miközben minimálisra csökkenti az erőforrás-felhasználást és a felbontási ütemterveket.