Skip to main content
Ova se stranica prikazuje pomoću automatiziranog prijevoda. Umjesto toga, pogledaj na engleskom?

Pregled

Calibre nmCLSRAF

Calibre NMCLsRAF izvodi ILT-vođenu sintezu SRAF temeljenu na šablonima na krivuljnim izvedbama kako bi osigurao preciznu kontrolu litografije, dosljednost u postavljanju značajki pomoći u podrezoluciji (SRAF), usklađenost s proizvodnjom maski (MRC) i brzo vrijeme rada za proizvodnju integriranih krugova (IC).

Tehnički rad

Napredna ILT rješenja za proizvodnju fotonskih dizajna

U posljednjem desetljeću fotonska tehnologija je nova tehnologija za optičke telekomunikacije i optičke međusobne veze u mikroelektronici. Kao rezultat toga, velika raznolikost metodologija dizajna fotonike spojila se s vrlo izazovnim skalama i oblicima. Izrada takvih zakrivljenih i kritičnih fotonskih oblika zahtijeva napredne tehnike poboljšanja rezolucije (RET), uključujući tehnike inverzne litografije (ILT) sa 193 nm uranjajućom litografijom. U ovom radu istražujemo proizvodne izazove nekoliko fotonskih uređaja koristeći napredna ILT rješenja i utjecaj umetanja SRAF -a na pružanje dobre kvalitete lita, uključujući pogrešku postavljanja rubova (EPE), PVband i hrapavost rubova linije (LER). Pokazat ćemo kako naša Calibre ILT rješenja omogućuju proizvodnju najizazovnijih fotonskih dizajna.

A integrated circuit and printed circuit board
Ključne značajke

Krivolinijski predlošci za umetanje SRAF-a s punim čipom

Pristup zasnovan na predlošku nudi kvalitetu litografije ekvivalentnu ILT SRAF-ovima u smislu varijacije procesnog prozora (PV opseg), zajedničke dubine fokusa (DOF) i nagiba dnevnika slike (ILS), dok značajno poboljšava učinkovitost rada - brže od izvorne ILT SRAF sinteze.

Calibre NMCLsRAF istaknuti resursi

Istražite naše istaknute resurse kako biste saznali više o Calibre nmCLSRAF.

FAQ

Calibre NMCLsRAF često postavljana pitanja

Jeste li spremni saznati više o Calibru?

Stojimo spremni da odgovorimo na vaša pitanja! Kontaktirajte naš tim već danas

Pozovite: 1-800-547-3000

Razgovarajte sa stručnjakom

Calibre konzultantske usluge

Pomažemo vam usvojiti, implementirati, prilagoditi i optimizirati vaša složena dizajnerska okruženja. Izravni pristup inženjeringu i razvoju proizvoda omogućuje nam da iskoristimo duboku stručnost u domenu i temama.

Konzultantske usluge

Centar za podršku

Siemens centar za podršku pruža vam sve na jednom mjestu jednostavnom za korištenje -
baza znanja, ažuriranja proizvoda, dokumentacija, slučajevi podrške, informacije o licenci/narudžbi i još mnogo toga.

Kontaktirajte podršku

Kalibar IC dizajn i proizvodnja

Paket alata Calibre pruža preciznu, učinkovitu, sveobuhvatnu provjeru i optimizaciju IC-a u svim procesnim čvorovima i stilovima dizajna uz minimiziranje korištenja resursa i rasporeda snimanja.

Učite od stručnjaka