Pregled
Calibre nmCLMPC
Korekcija procesa maske (MPC) osigurava vjernost uzorka maske napredne proizvodnje maski čvorova. Calibre NMCLMPC pruža potrebnu sposobnost korekcije procesa krivulinijske maske kako bi se ispunila očekivanja za točnost korekcije, kao i za vrijeme obrade.
Stupite u kontakt s našim tehničkim timom: 1-800-547-3000
Korekcija procesa maske (MPC) za krivolinijske izvedbe
Calibre NMCLMPC izvodi korekciju procesa maski (MPC) za ulazne rasporede s krivuljnim poligonima, poput onih proizvedenih pomoću OPC tehnologije inverzne litografije (ILT), kao i silicijske fotonske strukture.
Inovativna fragmentacija zasnovana na zakrivljenosti
Fragmentacija zasnovana na krivulji u motoru Calibre NMCLMPC određuje duljinu fragmenta ruba na temelju lokalne zakrivljenosti i pruža izlaz izvediv za krivolinijsku korekciju MPC-a. Ova značajka pokušava zajedno optimizirati veličinu datoteke, točnost i vrijeme izvršenja za korekciju procesa krivulinijske maske.
Mogućnost postizanja brze konvergencije
Calibre nmCLMPC može se koristiti s predpristranošću temeljenom na krivulji kako bi se omogućila brza konvergencija za krivolinijski MPC. Metoda predpristranosti temeljena na krivulji smanjuje broj potrebnih iteracija bez pogoršanja točnosti korekcije i štedi vrijeme izvođenja.
Mogućnost istovremene korekcije
Calibre NMCLMPC može ispraviti krivolinijske i pravokutne oblike u jednom potezu primjenjujući ista pravila kao u standardnom receptu na pravokutne oblike.
Jeste li spremni saznati više o Calibru?
Stojimo spremni da odgovorimo na vaša pitanja! Kontaktirajte naš tim već danas
Pozovite: 1-800-547-3000
Calibre konzultantske usluge
Pomažemo vam usvojiti, implementirati, prilagoditi i optimizirati vaša složena dizajnerska okruženja. Izravni pristup inženjeringu i razvoju proizvoda omogućuje nam da iskoristimo duboku stručnost u domenu i temama.
Centar za podršku
Siemens centar za podršku pruža vam sve na jednom mjestu jednostavnom za korištenje -
baza znanja, ažuriranja proizvoda, dokumentacija, slučajevi podrške, informacije o licenci/narudžbi i još mnogo toga.
Kalibar IC dizajn i proizvodnja
Paket alata Calibre pruža preciznu, učinkovitu, sveobuhvatnu provjeru i optimizaciju IC-a u svim procesnim čvorovima i stilovima dizajna uz minimiziranje korištenja resursa i rasporeda snimanja.