Calibre Curvilinear MDP

Zahtjevi za uzorkovanjem litografskih procesa sljedeće generacije i potreba da se smanje troškovi proizvodnje potaknuli su litografe da istraže prednosti krivulinijskih maski. Višestruke studije potkrijepljene eksperimentalnim rezultatima pokazale su litografsku prednost krivulinijskih fotomaska u odnosu na pravocrtne aproksimacije. Proizvodljivost krivolinijskih maski ograničena je zbog arhitekture pisača greda promjenjivog oblika, što ga je učinilo zabranjenim i u pripremi podataka o maskama i u perspektivi pisanja maski. Dostupnost pisaca maski s više zraka uklonila je ove prepreke na putu i uvođenje krivulinijskih maski znatno približila stvarnosti.

Pročitaj Krivulje naprijed! IC proizvodnja priprema se za krivolinijske maske da biste saznali više o prednostima krivolinijskih maski.

Paket alata Calibre Curvilinear MDP omogućuje besprijekoran nastavak manipulacija podacima potrebnih za tehnike poboljšanja rezolucije (RET), kao što su umetanje značajki pomoći u podrezoluciji (SRAF) i optička korekcija procesa (OPC) i korekcija procesa maske (MPC) u pretvorbu formata podataka maske u jednom serijskom pokretu.

Tradicionalno pisci maski s više zraka podržavaju Piecewise-Linear (PWL) podatke u svojim putovima podataka. Nedavno su dobavljači pisača maski s više zraka uveli izvornu podršku za više gona na novu generaciju alata za pisanje maski s više zraka. Svrha multigona je predstaviti krivolinijske podatke s izvornim formatom krivulje za zbijanje veličine datoteke u tokovima maske. Broj vrhova koji se koriste za predstavljanje podataka s više kuta znatno je manji od vrhova koji se koriste za predstavljanje Piecewise-Linear podataka, što rezultira smanjenjem veličine datoteke korištenjem izvornih krivulja za krivolinijske podatke.

Slika ispod prikazuje primjer PWL-a s lijeve strane i multigona s desne strane.

Calibre Curvilinear MDP rješenje podržava protoke prijeloma više zraka temeljene na multigonu i omogućeno je najnovijim multibeam formatima poput MBW 3.0 iz IMS-a i MBF 2.1 tvrtke NuFlare.

• Provjera udaljenosti u više kuta: Provjera udaljenosti višeguta dizajnirana je za mjerenje udaljenosti između dijelova splajna na višegutnim slojevima, osiguravajući usklađenost s ograničenjima dizajna.
• Provjere širine dubine i omjera širine dubine u više kuta: Provjera širine dubine osigurava da je minimalna širina oblika višeguta unutar prihvatljivog raspona, posebno kada se mjeri na zadanom rasponu dubine.
• Provjera kuta višeguta: Provjera kuta procjenjuje geometriju višeguta izračunavanjem kuta splajna na svakoj točki interesa (POI) za određeni polumjer.
• Provjera zakrivljenosti u više kuta: Provjera zakrivljenosti osmišljena je za procjenu glatkoće i kvalitete savijanja svakog Bezierovog dijela spline unutar višeguta izračunavanjem minimalnog polumjera zakrivljenosti duž njegove konture.

Gornja slika prikazuje primjere vanjske provjere udaljenosti (gore lijevo), unutarnje provjere udaljenosti (gore desno), otkrivanja šiljaka (dolje lijevo) i provjere dubine širine (donje desno).