Moteur OPC curvilinéaire
Le moteur OPC curviligne Calibre peut convertir des formes rectangulaires en motifs curvilinéaires et s'assurer que l'objectif EPE est atteint. Il effectue des contrôles d'impression SRAF pour les formes courbes et applique des contraintes MRC simultanément afin de garantir une génération de masques curvilinéaires de haute qualité.
Solution OPC curvilinéaire rapide et complète
Le calibre NmCloPC permet le flux OPC curvilinéaire hybride ILT qui fournit la qualité lithographique requise avec un temps d'exécution plus rapide que celui d'une solution ILT complète. Ce flux peut être utilisé pour générer les masques curvilignes nécessaires à la photonique sur silicium, ou pour des conceptions rectilignes à des fins de logique ou de mémoire.
Représentation polygonale curviligne native
Contrairement aux moteurs OPC traditionnels qui s'appuient sur le mouvement des bords de Manhattan, le Calibre NMcloPC applique une représentation polygonale curviligne native avec des splines de Bézier et effectue une correction basée sur les splines en déplaçant une « courbe OPC ». Ce nouveau format permet non seulement d'améliorer la précision, mais aussi d'atténuer l'explosion de la taille des données provoquée par les masques curvilignes.
Solutions avancées de modélisation OPC pour les masques curvilignes
Le modèle de base Calibre OPC permet de modéliser avec précision les effets du champ électromagnétique 3D du masque pour les masques curvilignes. L'utilisation des contours SEM pour l'étalonnage du modèle selon des motifs curvilinéaires lui permet de décrire le comportement réel d'une plaquette. La technologie avancée Calibre NmCloPC maximise le droit à la lithographie et permet d'obtenir la précision OPC requise.
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