Flux OPC mémoire
Un flux de remplacement qui assure une exécution rapide et une parfaite cohérence de la correction sur l'ensemble de la baie, fournit une extension sur toute la plate-forme de traitement, ainsi que fournit un travail d'intégration et un raffinement pour la symétrie et la cohérence.
Une solution d'infrastructure de flux
Calibre RET MEMOPC fournit une solution d'infrastructure de flux avec identification de matrices et de cellules, module d'insertion SRAF/OPC et restauration des baies.
Différents choix de correction OPC et d'insertion SRAF
Le flux Calibre RET MEMOPC donne aux utilisateurs la flexibilité de sélectionner les outils nécessaires à l'insertion SRAF et à la correction OPC. Les options d'insertion SRAF comprennent le calibre CNSRAF, le calibre OpCSbar et l'utilisation du moteur Calibre pxOPC ou ILT. Pour la correction OPC, le flux prend en charge l'utilisation de Calibre OPCPro, Calibre nmOPC, Calibre nmCLOPC et Calibre PxOPC.
Répond à l'exigence de fabrication de dispositifs de mémoire
Calibre RET MEMOPC a été développé pour surmonter les défis liés à la fabrication de dispositifs de mémoire et de produits de capteurs d'image qui nécessitent des approches de traitement avec une cohérence géométrique et des temps de traitement acceptables. Calibre RET MEMOPC peut fournir la solution avec une durée d'exécution, une cohérence et une qualité litho supérieures.
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