Les outils de Calibre Mask Data Preparation (MDP) permettent la conversion et la vérification du format des données de masque pour la fabrication de masques, y compris les derniers formats de masques multifaisceaux dans une plateforme Calibre entièrement compatible.
Les produits Calibre Mask Data Preparation font partie de la plateforme Calibre intégrée, vous permettant d'effectuer toutes les tâches de traitement d'amélioration de la résolution et de conversion de format de données de masque dans un seul lot de fabrication de masque exécuté à l'aide d'un seul langage de contrôle avec les meilleures performances de sa catégorie.
Exporte les données de création de masque directement vers les formats d'écriture de masques cibles sans changer d'outil ni créer de gros fichiers intermédiaires. Les formats pris en charge incluent MEBES, JEOL, Micronic, NuFlare VSB et MBF, OASIS.MASK et OASIS.MBW.
Vérifie les données finales du créateur de masque par rapport à la définition originale GDSII ou OASIS. Il prend en charge le suivi des mises à jour de conception en confirmant la présence de changements dans les données finales du masque.
Permet un examen rapide et facile des données de conception au format GDSII et OASIS, ainsi que dans tous les formats de modèles et assemblages de données populaires à travers les postes de travail respectifs.
Réduit le coût du masque et le temps d'écriture du masque en abaissant le nombre total de tirs grâce à un prétraitement avancé des données fracturées.
Permet une fusion inter-puces hautement évolutive pour la fracture NuFlare VSB11.
Étend le jeu de langage de programmation tcl disponible dans Calibre MDPview avec des fonctions dédiées prenant en charge l'extraction et la validation d'emplacements appropriés pour la métrologie des masques.