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Pourquoi Calibre NMCLBias ?

Alors que la lithographie avancée dépasse les géométries traditionnelles de Manhattan, les réalités des masques et des plaquettes ne correspondent plus à l'intention de conception rectiligne idéalisée. Avec des coins arrondis, une complexité croissante des motifs et l'augmentation des flux de masques curvilignes rendus possibles par les créateurs de masques multifaisceaux, Calibre NMCLBias aide à soutenir la transition de l'industrie vers une représentation des motifs plus précise et manufacturable pour les processus de nouvelle génération.

Fonctionnalités clés

Biaisation/retargeting pré-OPC pour les conceptions curvilignes

Calibre NMCLBias est une version curviligne de l'outil Calibre NMBIAS durci en production, qui est utilisé par les grandes fonderies depuis plus de 12 ans. Calibre NMCLBias est un outil de retargeting évolutif et efficace qui fournit des solutions de biais pour les conceptions curvilignes.

Exactitude et qualité

Retargeting curviligne de qualité pré-OPC

Calibre NMCLBias fournit un biais et un retargeting basé sur des règles pour les conceptions curvilignes avec un filtrage amélioré des bords pour la classification, un moteur de mouvement de bord amélioré et un lissage progressif des fragments dans les virages.

Personne en chemise noire debout contre un mur blanc, tenant un objet sombre avec un fond flou.
Évolutif et efficace

Excellentes performances d'exécution

Le moteur de retargeting Calibre NMCLBias fournit des solutions de retargeting et de biais pré-OPC évolutives et efficaces pour répondre aux exigences de temps d'exécution des clients.

Professionnel concentré en chemise bleue analysant un tableau de données avec une concentration intense, ombre visible sur le mur
Utilisabilité et flexibilité

Moteur de retargeting facile à utiliser

Calibre NMCLBias est facile à utiliser et flexible, permettant un contrôle de fragmentation défini par l'utilisateur, un biais basé sur les balises, la spécification de tables de règles de biais, et l'interpolation des règles de biais et plus encore.

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Services de conseil Calibre

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