Calibre Curvilinear MDP

Les exigences de modelage des processus lithographiques de nouvelle génération et la nécessité de réduire les coûts de fabrication ont poussé les lithographes à explorer les avantages des masques curvilignes. De multiples études étayées par les résultats expérimentaux ont démontré l'avantage lithographique des photomasques curvilignes par rapport aux approximations rectilignes. La fabricabilité des masques curvilignes a été limitée en raison de l'architecture des écrivains de faisceaux de forme variable, ce qui les a rendus prohibitifs du point de vue de la préparation des données de masque et de l'écriture des masques. La disponibilité des écrivains de masques multifaisceaux a supprimé ces obstacles et rapproché l'introduction des masques curvilignes de la réalité.

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La suite d'outils Calibre Curvilinear MDP permet de poursuivre en toute transparence les manipulations de données requises pour les techniques d'amélioration de la résolution (RET), telles que l'insertion de fonctions d'aide à la sous-résolution (SRAF) et la correction optique des processus (OPC), et la correction du processus de masque (MPC) vers la conversion du format de données du masque en une seule fois.

Traditionnellement, les auteurs de masques multifaisceaux ont pris en charge les données Piecewise-Linear (PWL) dans leurs chemins de données. Récemment, les fournisseurs de rédacteurs de masques multifaisceaux ont introduit la prise en charge multigon native sur la nouvelle génération d'outils de création de masques multifaisceaux. Le but de multigon est de représenter des données curvilignes avec un format de courbe natif pour le compactage de la taille de fichier dans les flux de masque. Le nombre de vertices utilisés pour représenter les données multigonales est nettement inférieur à celui utilisé pour représenter les données Piecewise-Linear, ce qui entraîne une réduction de la taille du fichier en utilisant des courbes natives pour les données curvilignes.

L'image ci-dessous montre un exemple de PWL à gauche et multigon à droite.

La solution Calibre Curvilinear MDP prend en charge les flux de fracture multifaisceaux basés sur le multigon et est activée avec les derniers formats multifaisceaux comme MBW 3.0 d'IMS et MBF 2.1 de NuFlare.

• Vérification de distance multigon : Le contrôle de distance multigon est conçu pour mesurer la distance entre les sections de spline sur des couches multigons, garantissant ainsi le respect des contraintes de conception.
• Vérifications de la largeur de la profondeur et du rapport de largeur de profondeur multigon : La vérification de la largeur de profondeur garantit que la largeur minimale d'une forme multigon se situe dans la plage acceptable, en particulier lorsqu'elle est mesurée dans une plage de profondeur donnée.
• Vérification de l'angle multigon : Le contrôle d'angle évalue la géométrie du multigon en calculant l'angle de spline à chaque point d'intérêt (POI) pour un rayon spécifié.
• Vérification de courbure multigon : Le contrôle de courbure est conçu pour évaluer la douceur et la qualité de courbure de chaque section de spline de Bézier dans un multigon en calculant le rayon de courbure minimum le long de son contour.

L'image ci-dessus montre des exemples de vérification de distance externe (en haut à gauche), de contrôle de distance interne (en haut à droite), de détection de pointes (en bas à gauche) et de vérification de la profondeur (en bas à droite).