Yleiskatsaus
Calibre nmCLMPC
Maskiprosessin korjaus (MPC) varmistaa maskikuvion tarkkuuden edistyneessä solmumaskin valmistuksessa. Calibre NMCLMPC tarjoaa tarvittavan kyvyn kaarevan maskin prosessin korjaukseen, joka täyttää korjaustarkkuuden ja käsittelyajan odotukset.
Ota yhteyttä tekniseen tiimiimme: 1-800-547-3000

Maskiprosessin korjaus (MPC) kaareville malleille
Calibre NMCLMPC suorittaa Mask Process Correction (MPC) syöttöasetteluille, joissa on kaarevat monikulmiot, kuten Inverse Lithography Technology (ILT) OPC: n tuottamat syöttöasettelut, sekä piifotoniset rakenteet.
Innovatiivinen kaarevuuteen perustuva pirstoutuminen
Calibre NMCLMPC -moottorin kaarevuuteen perustuva pirstoutuminen määrittää reunan fragmentin pituuden paikallisen kaarevuuden perusteella ja tarjoaa lähdön, joka on mahdollinen kaarevalle MPC-korjaukselle. Tämä ominaisuus yrittää optimoida tiedoston koon, tarkkuuden ja suoritusajan kaarevan maskin prosessin korjausta varten.

Mahdollisuus saavuttaa nopea lähentyminen
Calibre NMCLMPC: tä voidaan käyttää kaarevuuteen perustuvan esijännityksen kanssa nopean konvergenssin mahdollistamiseksi kaarevalle MPC:lle. Kaarevuuteen perustuva esijännitysmenetelmä vähentää tarvittavien iteraatioiden määrää heikentämättä korjaustarkkuutta ja säästää ajonaikaa.

Samanaikainen korjauskyky
Calibre NMCLMPC voi korjata kaarevia ja suorakulmaisia muotoja yhdellä ajolla soveltamalla samoja sääntöjä kuin tavallisessa reseptissä suorakulmaisiin muotoihin.

Oletko valmis oppimaan lisää Calibresta?
Olemme valmiina vastaamaan kysymyksiisi! Ota yhteyttä tiimiimme jo tänään
Soita: 1-800-547-3000
Caliber konsultointipalvelut
Autamme sinua ottamaan käyttöön, ottamaan käyttöön, mukauttamaan ja optimoimaan monimutkaiset suunnitteluympäristöt. Suora pääsy suunnitteluun ja tuotekehitykseen antaa meille mahdollisuuden hyödyntää syvää alan ja aiheen asiantuntemusta.
Tukikeskus
Siemens Support Center tarjoaa kaiken yhdessä helppokäyttöisessä paikassa -
tietokanta, tuotepäivitykset, dokumentaatio, tukitapaukset, lisenssi-/tilaustiedot ja paljon muuta.
Caliber IC suunnittelu ja valmistus
Calibre-työkalupaketti tarjoaa tarkan, tehokkaan ja kattavan IC-todentamisen ja optimoinnin kaikissa prosessisolmuissa ja suunnittelutyyleissä minimoiden resurssien käytön ja nauhanpoistoaikataulut.