Skip to main content
Seda lehte kuvatakse automaatse tõlke abil. Vaata hoopis inglise keeles?

Ülevaade

Calibre nmCLSRAF

Calibre NMCLsRAF teostab ILT-juhitud, mallipõhist SRAF-sünteesi kõverjoonelistel kujundustel, et tagada täpne litograafia juhtimine, järjepidevus alameraldusvõime abivahenduse (SRAF) paigutamisel, vastavus maskide tootmisele (MRC) ja kiire tööaeg integreeritud vooluahela (IC) tootmiseks.

Tehniline paber

Täiustatud ILT-lahendused fotoonikakujunduste valmistamiseks

Viimase kümnendi jooksul on fotoonikatehnoloogia olnud mikroelektroonika optilise telekommunikatsiooni ja optiliste ühenduste tekkiv tehnoloogia. Selle tulemusena on fotoonika kujundusmetoodikate suur mitmekesisus ühinenud väga keeruliste skaalade ja kujudega. Selliste kõverate ja kriitiliste fotoonikakujude tootmine nõuab täiustatud eraldusvõime suurendamise tehnikaid (RET), sealhulgas pöördlitograafiatehnikaid (ILT) 193 nm sukeldumislitograafiaga. Selles artiklis uurime mitme fotoonikaseadme tootmisprobleeme, kasutades täiustatud ILT-lahendusi, ja SRAF-i sisestamise mõju hea litokvaliteedi tagamisele, sealhulgas serva paigutuse viga (EPE), PVband ja joone serva karedus (LER). Näitame, kuidas meie Calibre ILT lahendused võimaldavad valmistada kõige keerukamaid fotoonikakujundusi.

A integrated circuit and printed circuit board
Peamised omadused

Kõverjoonelised mallid täiskiibi SRAF-i sisestamiseks

Mallipõhine lähenemisviis pakub litograafiakvaliteeti, mis on samaväärne ILT SRAF-idega protsessiakna varieeruvuse (PV riba), ühise teravustamissügavuse (DOF) ja pildi logi kalde (ILS) osas, parandades samal ajal oluliselt tööaja efektiivsust - kiiremini kui loomulik ILT SRAF süntees.

Calibre NMCLsRAF esiletõstetud ressursid

Calibre NMCLsRAF-i kohta lisateabe saamiseks uurige meie esiletõstetud ressursse.

FAQ

Calibre NMCLsRAF korduma kippuvad küsimused

Kas olete valmis Calibre kohta rohkem teada saama?

Seisame teie küsimustele vastamiseks! Võtke ühendust meie meeskonnaga juba täna

Helistage: 1-800-547-3000

Rääkige eksperdiga

Calibre nõustamisteenused

Aitame teil oma keerukaid disainikeskkondi omaks võtta, juurutada, kohandada ja optimeerida. Otsene juurdepääs inseneriteadmistele ja tootearendusele võimaldab meil kasutada sügavaid valdkonna- ja aineteadmisi.

Konsultatsiooniteenused

Tugikeskus

Siemensi tugikeskus pakub teile kõike ühes hõlpsasti kasutatavas kohas -
teadmistebaas, tootevärskendused, dokumentatsioon, tugijuhtumid, litsentsi/tellimuse teave ja palju muud.

Võtke ühendust tugiteenusega

Caliber IC disain ja tootmine

Calibre tööriistakomplekt pakub täpset, tõhusat ja põhjalikku IC-kontrolli ja optimeerimist kõigis protsessilõlmedes ja disainistiilides, minimeerides samal ajal ressursikasutust ja kaabeldusgraafikuid.

Õppige ekspertidelt