Calibre Curvilinear MDP

Järgmise põlvkonna litograafiliste protsesside mustrinõuded ja vajadus hoida tootmiskulusid madalal on sunnitud litograafid uurima kõverjooneliste maskide eeliseid. Mitmed katsetulemustega toetatud uuringud on näidanud kõverjooneliste fotomaskide litograafilist eelist sirgjooneliste lähenemiste ees. Kõverjooneliste maskide valmistatavus on muutuva kujuga talarakirjutajate arhitektuuri tõttu olnud piiratud, mis muutis selle nii maskiandmete ettevalmistamise kui ka maskide kirjutamise vaatenurkadest keelatuks. Mitme kiire maskide kirjutajate kättesaadavus on need takistused eemaldanud ja kõverjooneliste maskide kasutuselevõtu tegelikkusele palju lähemale toonud.

Loe Kõverad ees! IC tootmine valmistub ette kõverjooneliste maskide jaoks et saada lisateavet kõverjooneliste maskide eeliste kohta.

Calibre Curvilinear MDP tööriistakomplekt võimaldab sujuvalt jätkata eraldusvõime suurendamise tehnikate (RET) jaoks vajalike andmetöötlusi, nagu alameraldusvõime abivahendusfunktsioonide (SRAF) sisestamine ja optilise protsessi korrigeerimine (OPC) ning maskiprotsessi korrigeerimine (MPC) maski andmevormingu teisendamiseks ühe partii käigus.

Traditsiooniliselt on mitme kiire maskide kirjutajad oma andmeteedel toetanud Piecewise-Linear (PWL) andmeid. Hiljuti on mitme kiire maskide kirjutamise müüjad tutvustanud uue põlvkonna mitme kiire maskide kirjutamise tööriistade loomulikku mitme nurga tuge. Mitme nurga eesmärk on esitada kõverjoonelisi andmeid natiivse kõvera vorminguga failisuuruse tihendamiseks maskivoogudes. Mitme nurga andmete esitamiseks kasutatavate tippude arv on oluliselt väiksem kui Piecewise-Lineaarsete andmete esitamiseks kasutatud tipud, mille tulemuseks on faili suuruse vähenemine kõverjooneliste andmete jaoks natiivsete kõverate kasutamisel.

Alloleval pildil on näide PWL-ist vasakul ja mitme nurga paremal.

Calibre Curvilinear MDP lahendus toetab mitme kiire murdumisvooge, mis põhinevad multinurgal ja on lubatud uusimate mitme kiire formaatidega, nagu MBW 3.0 IMS-ilt ja MBF 2.1 NuFlare firmalt.

• Mitme nurga kauguse kontroll: mitme nurga kauguse kontroll on loodud mitme nurga kihtide splainsektsioonide vahelise kauguse mõõtmiseks, tagades vastavuse projekteerimispiirangutele.
• Mitme nurga sügavuse laiuse ja sügavuse laiuse suhte kontrollimine: Sügavuse laiuse kontroll tagab, et mitme nurga kuju minimaalne laius jääb vastuvõetavasse vahemikku, eriti kui seda mõõdetakse antud sügavusvahemikus.
• Mitme nurga kontroll: Nurga kontroll hindab mitme nurga geomeetriat, arvutades eraldi nurga igas huvipunktis (POI) kindlaksmääratud raadiuse jaoks.
• Mitme nurga kõveruse kontroll: kõveruskontroll on mõeldud iga Bezieri spline'i sektsiooni sileduse ja painutuskvaliteedi hindamiseks mitme nurga sees, arvutades minimaalse kõverusraadiuse piki selle kontuuri.

Ülaltoodud pildil on näited välise kauguse kontrollist (vasakul ülanul), sisemisest kauguse kontrollist (paremal ülanul), piigi tuvastamisest (vasakul all) ja sügavuse laiuse kontrollist (all paremal).