Descripción general
Calibre Stress Correction
Calibre Stress Correction utiliza tanto el aprendizaje de máquina como los modelos físicos compactos tradicionales para predecir de manera eficiente los valores de cambio en cada una de las trincheras y corregir la distorsión de la zanja para garantizar la capacidad de fabricación de dispositivos de memoria 3D.
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Características clave
Calibre Stress Correction analiza y corrige la distorsión de las trincheras profundas cortadas a través de pilas 3D para dispositivos de memoria avanzados.
Predicción de cambio de zanja de chip completo para corrección de estrés
Calibre Stress Correction realiza la predicción del cambio de zanja de chip completo y ejecuta la alineación de forma requerida. Tanto el motor de aprendizaje automático como el motor de modelado de corrección de tensión pueden manejar miles de millones de cambios de zanja para el uso de chips completos.
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Inteligencia de aprendizaje automático para una resolución compleja
Calibre Stress Correction está equipado con un modelo de aprendizaje automático (ML) de red neuronal que aprende los datos históricos del cambio de trinchera de la grabación anterior, independientemente de la causa complicada del cambio. El aprendizaje del modelo ML proporciona una manera sencilla de predecir los valores de cambio para la corrección de estrés en un nuevo diseño con reglas de diseño similares y el mismo proceso.
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Predicción basada en modelos sin necesidad de datos históricos
Calibre Stress Correction realiza la predicción de turnos mediante un modelo físico compacto cuando la información de cambio anterior no está disponible. Los valores de desplazamiento se pueden predecir en función de los parámetros físicos del modelo y la información de diseño circundante sin ningún requisito de las mediciones de turnos anteriores.
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