Descripción general
Calibre NMCLMPC
La corrección del proceso de máscara (MPC) garantiza la fidelidad del patrón de máscara de la fabricación avanzada de máscaras de nodo. Calibre nmCLMPC proporciona la capacidad necesaria para la corrección del proceso de máscara curvilínea para cumplir con las expectativas de precisión de corrección, así como de tiempo de procesamiento.
Ponte en contacto con nuestro equipo técnico: 1-800-547-3000
Corrección del proceso de máscara (MPC) para diseños curvilíneo
Calibre nmCLMPC realiza la corrección de procesos de máscara (MPC) para diseños de entrada con polígonos curvilíneos, como los producidos por Inverse Lithography Technology (ILT) OPC, así como estructuras fotónicas de silicio.
Fragmentación innovadora basada en la curvatura
La fragmentación basada en la curvatura en el motor Calibre NMCLMpc determina la longitud del fragmento de borde en función de la curvatura local y proporciona una salida factible para la corrección de MPC curvilínea. Esta función intenta co-optimizar el tamaño del archivo, la precisión y el tiempo de ejecución para la corrección del proceso de máscara curvilínea.
Opción para lograr una convergencia rápida
Calibre nmCLMPC se puede utilizar con prepolarización basada en curvatura para permitir una convergencia rápida para MPC curvilíneo. El método de prepolarización basado en curvatura reduce el número de iteraciones necesarias sin degradar la precisión de corrección y ahorra tiempo de ejecución.
Capacidad de corrección simultánea
Calibre nmCLMPC puede corregir formas curvilíneas y rectangulares de una sola vez aplicando las mismas reglas que en una receta estándar a las formas rectangulares.
¿Listo para aprender más sobre Calibre?
¡Estamos esperando para responder a sus preguntas! Comuníquese con nuestro equipo hoy
Llamada: 1-800-547-3000
Servicios de consultoría de Calibre
Le ayudamos a adoptar, implementar, personalizar y optimizar sus complejos entornos de diseño. El acceso directo a la ingeniería y el desarrollo de productos nos permite aprovechar una profunda experiencia en el dominio y la materia.
Centro de soporte
El Centro de soporte de Siemens le proporciona todo en una ubicación fácil de usar:
base de conocimientos, actualizaciones de productos, documentación, casos de soporte, información de licencias/pedidos y más.
Diseño y fabricación de Calibre IC
El conjunto de herramientas Calibre ofrece una verificación y optimización de IC precisas, eficientes y completas en todos los nodos de proceso y estilos de diseño, al tiempo que minimiza el uso de recursos y los programas de cierre.