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¿Por qué Calibre nmCLBIAS?

A medida que la litografía avanzada va más allá de las geometrías tradicionales de Manhattan, las realidades de las máscaras y las obleas ya no coinciden con la intención idealizada del diseño rectilíneo. Con esquinas redondeadas, creciente complejidad de patrones y el aumento de los flujos de máscaras curvilíneas habilitados por los escritores de máscaras de haz múltiple, Calibre nmCLBIAS ayuda a respaldar el cambio de la industria hacia una representación de patrones más precisa y fabricable para procesos de próxima generación.

Características clave

Previsión/retargeting pre-OPC para diseños curvilíneos

Calibre nmCLBIAS es una versión curvilínea de la herramienta Calibre NMBias endurecida en producción, que ha sido utilizada por las principales fundiciones durante más de 12 años. Calibre nmCLBIAS es una herramienta de retargeting escalable y eficiente que proporciona soluciones de sesgo para diseños curvilíneos.

Precisión y calidad

Redireccionamiento preOPC curvilíneo de calidad

Calibre NMCLbias proporciona sesgo/retargeting basado en reglas para diseños curvilíneos con filtrado de bordes mejorado para clasificación, motor de movimiento de bordes mejorado y suavizado gradual de fragmentos en las esquinas.

Persona con camisa negra de pie frente a una pared blanca sostiene un objeto oscuro con fondo borroso.
Escalable y eficiente

Excelente rendimiento en tiempo de ejecución

El motor de retargeting Calibre NMCLBias proporciona soluciones de retargeting y polarización preOPC escalables y eficientes para satisfacer los requisitos de tiempo de ejecución del cliente.

Profesional enfocado en camisa azul analizando gráfico de datos con concentración intensa, sombra visible en la pared
Usabilidad y flexibilidad

Motor de retargeting fácil de usar

Calibre nmCLBIAS es fácil de usar y flexible, lo que permite un control de fragmentación definido por el usuario, sesgo basado en etiquetas, especificación de tablas de reglas de sesgo e interpolación de reglas de sesgo y más.

Persona con camisa negra de pie frente a una pared blanca sostiene un objeto oscuro con fondo borroso.

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Centro de soporte

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Diseño y fabricación de Calibre IC

El conjunto de herramientas Calibre ofrece una verificación y optimización de IC precisas, eficientes y completas en todos los nodos de proceso y estilos de diseño, al tiempo que minimiza el uso de recursos y los programas de cierre.