Calibre Curvilinear MDP

Los requisitos de patrones de los procesos litográficos de próxima generación y la necesidad de mantener bajos los costos de fabricación han empujado a los litógrafos a explorar las ventajas de las máscaras curvilíneas. Múltiples estudios respaldados por los resultados experimentales han demostrado la ventaja litográfica de las fotomáscaras curvilíneas sobre las aproximaciones rectilíneas. La capacidad de fabricación de las máscaras curvilíneas ha sido limitada debido a la arquitectura de los escritores de haz de forma variable, lo que la hizo prohibitiva tanto desde la perspectiva de la preparación de datos de máscaras como de la escritura de máscaras. La disponibilidad de escritores de máscaras multihaz ha eliminado estos obstáculos y ha acercado la introducción de máscaras curvilíneas mucho más a la realidad.

Leer ¡Curvas adelante! La fabricación de IC se prepara para máscaras curvilíneas para obtener más información sobre los beneficios de las máscaras curvilíneas.

El conjunto de herramientas Calibre Curvilinear MDP permite continuar sin problemas las manipulaciones de datos requeridas para las Técnicas de mejora de resolución (RET), como la inserción de características de asistencia de subresolución (SRAFs) y la corrección óptica del proceso (OPC) y la corrección de procesos de máscara (MPC) a la conversión de formato de datos de máscara en una ejecución por lotes.

Tradicionalmente, los escritores de máscaras multihaz han admitido datos lineales por partes (PWL) en sus rutas de datos. Recientemente, los proveedores de escritores de máscaras multihaz han introducido el soporte multigón nativo en la nueva generación de herramientas de escritura de máscaras multihaz. El propósito de multigon es representar datos curvilíneos con formato de curva nativo para la compactación del tamaño de archivo en los flujos de máscara. El número de vértices utilizados para representar los datos multigoniales es sustancialmente menor que los vértices utilizados para representar los datos lineales por partes, lo que resulta en una reducción del tamaño de archivo por el uso de curvas nativas para datos curvilíneas.

La imagen de abajo muestra un ejemplo de PWL a la izquierda y multigonales a la derecha.

La solución Calibre Curvilinear MDP admite flujos de fractura multihaz basados en multigón y está habilitada con los últimos formatos multihaz como MBW 3.0 de IMS y MBF 2.1 de NuFlare.

• Comprobación de distancia multigono: La comprobación de distancia multigono está diseñada para medir la distancia entre secciones de estrías en capas multigonales, asegurando el cumplimiento de las restricciones de diseño.
• Comprobaciones de profundidad, ancho y profundidad de relación de ancho de múltiples gones: La comprobación de profundidad y anchura garantiza que el ancho mínimo de una forma multigono esté dentro del rango aceptable, específicamente cuando se mide en un rango de profundidad determinado.
• Comprobación del ángulo multigono: La comprobación de ángulo evalúa la geometría del multigón mediante el cálculo del ángulo de spline en cada punto de interés (POI) para un radio especificado.
• Comprobación de curvatura multigón: La comprobación de curvatura está diseñada para evaluar la suavidad y la calidad de flexión de cada sección de spline Bezier dentro de un multigón calculando el radio mínimo de curvatura a lo largo de su contorno.

La imagen de arriba muestra ejemplos de verificación de distancia externa (arriba a la izquierda), verificación de distancia interna (arriba a la derecha), detección de picos (abajo a la izquierda) y verificación de profundidad-ancho (abajo a la derecha).