Motor OPC curvilíneo
El motor OPC curvilíneo de Calibre puede convertir formas rectangulares en patrones curvilíneos y garantizar que se alcanza el objetivo de EPE. Realiza comprobaciones de impresión de formas curvas por parte de la SRAF y aplica restricciones MRC simultáneamente para garantizar una generación de máscaras curvilíneas de alta calidad.
Solución OPC curvilínea rápida y completa
Calibre NMclopc permite el flujo OPC curvilíneo híbrido de ILT, que ofrece la calidad litográfica requerida con un tiempo de ejecución más rápido que con una solución ILT completa. Este flujo se puede utilizar para generar las máscaras curvilíneas necesarias para la fotónica de silicio o para los diseños rectilíneos de la lógica o la memoria.
Representación nativa de polígonos curvilíneos
A diferencia de los motores OPC tradicionales que se basan en el movimiento de los bordes de Manhattan, Calibre NMcloPC aplica la representación poligonal curvilínea nativa con estrías de Bézier y realiza una corrección basada en estrías moviendo una «curva OPC». Este nuevo formato no solo mejora la precisión, sino que también mitiga la explosión del tamaño de los datos introducida por las máscaras curvilíneas.
Soluciones avanzadas de modelado OPC para máscaras curvilíneas
El modelo central OPC de Calibre puede modelar con precisión la máscara, efectos de campo electromagnético 3D para máscaras curvilíneas. El uso de contornos SEM para la calibración del modelo según patrones curvilíneos permite describir el comportamiento real de la oblea. La avanzada tecnología Calibre NMcloPC maximiza el derecho a la litografía y logra la precisión OPC requerida.
¿Está listo para obtener más información sobre Calibre?
¡Estamos listos para responder a sus preguntas! Póngase en contacto con nuestro equipo hoy mismo
Llame al: 1-800-547-3000
Servicios de consultoría de calibre
Le ayudamos a adoptar, implementar, personalizar y optimizar sus complejos entornos de diseño. El acceso directo a la ingeniería y al desarrollo de productos nos permite aprovechar una profunda experiencia en el dominio y la materia.
Centro de soporte
El centro de soporte de Siemens le ofrece todo en un solo lugar fácil de usar -
base de conocimientos, actualizaciones de productos, documentación, casos de soporte, información sobre licencias y pedidos y más.
Diseño y fabricación de circuitos integrados de calibre
El conjunto de herramientas Calibre ofrece una verificación y optimización de circuitos integrados precisas, eficientes y completas en todos los nodos de proceso y estilos de diseño, a la vez que minimiza el uso de los recursos y los programas de grabación.