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¿Por qué Calibre NMCLbias?

A medida que la litografía avanzada va más allá de las geometrías tradicionales de Manhattan, la realidad de las máscaras y las obleas ya no coincide con la intención idealizada del diseño rectilíneo. Con las esquinas redondeadas, el aumento de la complejidad de los patrones y el aumento de los flujos de máscaras curvilíneos que permiten las grabadoras de máscaras multihaz, Calibre NMCLbias ayuda a apoyar el cambio del sector hacia una representación de patrones más precisa y fácil de fabricar para los procesos de próxima generación.

Funciones clave

Pre-OPC sesgo/retargeting para diseños curvilíneos

Calibre NMCLbias es una versión curvilínea de la herramienta Calibre NMBias endurecida por producción, que utilizan las principales fundiciones durante más de 12 años. Calibre NMCLbias es una herramienta de retargeting escalable y eficaz que ofrece soluciones de sesgo para diseños curvilíneos.

Precisión y calidad

Retargeting curvilíneo de calidad antes de la OPC

Calibre NMCLbias proporciona un sesgo y un retargeting basados en reglas para los diseños curvilíneos, con un filtrado de bordes mejorado para la clasificación, un motor de movimiento de bordes mejorado y un suavizado gradual de los fragmentos en las esquinas.

Persona con camisa negra de pie contra una pared blanca, sujetando un objeto oscuro con un fondo borroso.
Escalable y eficiente

Excelente rendimiento en tiempo de ejecución

El motor de retargeting Calibre NMCLbias proporciona soluciones de retargeting y sesgo preOPC escalables y eficientes para cumplir con los requisitos de tiempo de ejecución de los clientes.

Profesional centrado con camisa azul analizando la tabla de datos con una concentración intensa, sombra visible en la pared
Usabilidad y flexibilidad

Motor de retargeting fácil de usar

Calibre NMCLbias es fácil de usar y flexible, ya que permite el control de fragmentación definido por el usuario, el sesgo basado en etiquetas, la especificación de tablas de reglas de sesgo, la interpolación de reglas de sesgo y más.

Persona con camisa negra de pie contra una pared blanca, sujetando un objeto oscuro con un fondo borroso.

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