Καμπυλόγραμμος κινητήρας OPC
Ο καμπυλόγραμμος κινητήρας OPC Calibre μπορεί να μετατρέψει ορθογώνια σχήματα σε καμπυλόγραμμα μοτίβα και να διασφαλίσει ότι ο στόχος EPE επιτυγχάνεται. Εκτελεί ελέγχους εκτύπωσης SRAF για καμπύλα σχήματα και εφαρμόζει περιορισμούς MRC ταυτόχρονα για να εξασφαλίσει υψηλής ποιότητας δημιουργία καμπυλόγραμμων μάσκων.
Γρήγορη καμπυλόγραμμη λύση OPC πλήρους τσιπ
Το Calibre NMCloPC επιτρέπει την υβριδική καμπυλόγραμμη ροή OPC ILT που παρέχει την απαιτούμενη λιθογραφική ποιότητα με ταχύτερο χρόνο εκτέλεσης από ό, τι με μια πλήρη λύση ILT. Αυτή η ροή μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τη δημιουργία καμπυλόγραμμων μάσκων που απαιτούνται για το Silicon Photonics ή για ευθύγραμμα σχέδια για λογική ή μνήμη.

Εγγενής καμπυλόγραμμη αναπαράσταση πολυγώνου
Σε αντίθεση με τους παραδοσιακούς κινητήρες OPC που βασίζονται στην κίνηση άκρων του Μανχάταν, το Calibre NMCloPC εφαρμόζει εγγενή καμπυλόγραμμη αναπαράσταση πολυγώνου με γραμμές Bezier και εκτελεί διόρθωση βάσει spline μετακινώντας μια «καμπύλη OPC». Αυτή η νέα μορφή όχι μόνο ωφελεί τη βελτίωση της ακρίβειας, αλλά και μετριάζει την έκρηξη μεγέθους δεδομένων που εισάγεται από καμπύλες μάσκες.

Προηγμένες λύσεις μοντελοποίησης OPC για καμπύλες μάσκες
Το μοντέλο πυρήνα Calibre OPC μπορεί να μοντελοποιήσει με ακρίβεια τα τρισδιάστατα εφέ ηλεκτρομαγνητικού πεδίου μάσκας για καμπύλες μάσκες. Η χρήση περιγραμμάτων SEM για βαθμονόμηση μοντέλου σε καμπυλόγραμμα μοτίβα του επιτρέπει να περιγράψει την πραγματική συμπεριφορά στη γκοφρέτα. Η προηγμένη τεχνολογία Calibre NMCloPC μεγιστοποιεί το δικαίωμα λιθογραφίας και επιτυγχάνει την απαιτούμενη ακρίβεια OPC.

Είστε έτοιμοι να μάθετε περισσότερα για το Calibre;
Είμαστε έτοιμοι να απαντήσουμε στις ερωτήσεις σας! Ελάτε σε επαφή με την ομάδα μας σήμερα
Καλέστε: 1-800-547-3000
Συμβουλευτικές υπηρεσίες Calibre
Σας βοηθάμε να υιοθετήσετε, να αναπτύξετε, να προσαρμόσετε και να βελτιστοποιήσετε τα σύνθετα περιβάλλοντα σχεδιασμού σας. Η άμεση πρόσβαση στη μηχανική και την ανάπτυξη προϊόντων μας επιτρέπει να αξιοποιήσουμε βαθιά τεχνογνωσία στον τομέα και το αντικείμενο.
Κέντρο υποστήριξης
Το Κέντρο Υποστήριξης της Siemens σας παρέχει τα πάντα σε μία εύχρηστη τοποθεσία -
βάση γνώσεων, ενημερώσεις προϊόντων, τεκμηρίωση, περιπτώσεις υποστήριξης, πληροφορίες άδειας/παραγγελίας και πολλά άλλα.
Σχεδιασμός και κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων Calibre
Η σουίτα εργαλείων Calibre παρέχει ακριβή, αποτελεσματική, ολοκληρωμένη επαλήθευση και βελτιστοποίηση ολοκληρωμένου κυκλώματος σε όλους τους κόμβους διεργασιών και τα στυλ σχεδίασης, ελαχιστοποιώντας παράλληλα τη χρήση πόρων και τα χρονοδιαγράμματα ταινίας.