Übersicht
Calibre nmCLOPC
Die Anforderungen an die Musterung lithografischer Verfahren der nächsten Generation haben Lithografen dazu veranlasst, die Vorteile krummliniger Masken zu erkunden. Die Calibre OPC-Engine wurde erweitert, um krummlinige Muster zu erzeugen und einen schnellen krummlinigen OPC-Fluss mit vollem Chip zu unterstützen.
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Krummliniger OPC-Motor
Die Calibre Curvilinear OPC-Engine kann rechteckige Formen in krummlinige Muster umwandeln und sicherstellen, dass das EPE-Ziel erreicht wird. Es führt SRAF-Druckprüfungen für gekrümmte Formen durch und wendet gleichzeitig MRC-Beschränkungen an, um eine qualitativ hochwertige krummlinige Maskengenerierung sicherzustellen.
Schnelle krummlinige OPC-Komplettlösung
Calibre nmcLOPC ermöglicht den krummlinigen Hybrid-ILT-OPC-Fluss, der die erforderliche lithografische Qualität mit einer schnelleren Laufzeit als mit einer vollständigen ILT-Lösung liefert. Dieser Flow kann verwendet werden, um krummlinige Masken zu erzeugen, die für Silizium-Photonik benötigt werden, oder für geradlinige Designs für Logik oder Speicher.
Native krummlinige Polygondarstellung
Im Gegensatz zu herkömmlichen OPC-Engines, die auf Manhattan-Kantenbewegungen angewiesen sind, wendet Calibre nmcLOPC eine native krummlinige Polygondarstellung mit Bezier-Splines an und führt eine Spline-basierte Korrektur durch, indem es eine „OPC-Kurve“ bewegt. Dieses neue Format kommt nicht nur der Verbesserung der Genauigkeit zugute, sondern mindert auch die Explosion der Datengröße, die durch krummlinige Masken verursacht wird.
Fortschrittliche OPC-Modellierungslösungen für krummlinige Masken
Das Calibre OPC-Kernmodell kann die 3D-elektromagnetischen Feldeffekte der Maske für krummlinige Masken präzise modellieren. Die Verwendung von SEM-Konturen für die Modellkalibrierung auf krummlinige Muster ermöglicht es, das tatsächliche Verhalten auf dem Wafer zu beschreiben. Die fortschrittliche Calibre nmCLOPC nmcLOPC-Technologie maximiert den Anspruch auf Lithografie und erreicht die erforderliche OPC-Genauigkeit.
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Beratungsdienste von Calibre
Wir helfen Ihnen bei der Einführung, Bereitstellung, Anpassung und Optimierung Ihrer komplexen Designumgebungen. Durch den direkten Zugang zu Technik und Produktentwicklung können wir auf tiefgreifendes Fach- und Fachwissen zurückgreifen.
Support-Center
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Design und Herstellung von Calibre IC-Geräten
Die Calibre-Toolsuite bietet eine genaue, effiziente und umfassende IC-Verifizierung und -Optimierung über alle Prozessknoten und Designstile hinweg und minimiert gleichzeitig den Ressourcenverbrauch und die Zeitpläne für das Tapeout.