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Furnace Health Monitoring & Inspection wird unterstützt durch ADVANCED ENERGY INDUSTRIES

Advanced Energy hilft Kunden dabei, ihre Anwendungen energieeffizienter zu gestalten, ihren CO2-Fußabdruck durch effiziente Energielösungen zu reduzieren und den Gesamtstromverbrauch zu optimieren. Das umfassende Hardwareangebot von Advanced Energy (Stromversorgungs-, Steuerungs- und Messlösungen) umfasst auch Softwarelösungen für die Optimierung von Fertigungsprozessen, vorausschauende Wartung und Gegenmaßnahmen, einschließlich der Integration mit übergeordneter Prozesssteuerungssoftware.

Warum Stabile, wiederholbare Leistung für Dünnschichtprozesse?

Die Ascent DC-Stromversorgungssysteme von Advanced Energy bieten eine stabile, wiederholbare Leistung für anspruchsvolle Dünnschichtbeschichtungsanwendungen. Fortschrittliches Lichtbogenmanagement, eingebettete Intelligenz und skalierbare Architekturen helfen Herstellern, die Filmqualität zu verbessern, den Durchsatz zu erhöhen, Substratschäden zu reduzieren und eine gleichbleibende Produktionsleistung zu gewährleisten.

Ofeninspektion

Vorteile

  • Verbesserte Filmqualität
    Eine stabile und wiederholbare Leistungsabgabe unterstützt eine gleichbleibende Beschichtungsleistung und eine qualitativ hochwertige Filmproduktion.
  • Reduzierter Schaden im Zusammenhang mit Lichtbögen
    Fortschrittliches Lichtbogenmanagement hilft, Schäden an Substraten, Folien und Geräten zu minimieren und gleichzeitig die Prozessstabilität zu verbessern.
  • Höherer Durchsatz
    Zuverlässige Stromversorgung und Prozesssteuerung tragen zur Maximierung der Produktivität und Produktionseffizienz bei.

Ausgewählte Funktionen

Praktische Anwendungsszenarien

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Dünnschichtabscheidung

Ein Halbleiterhersteller setzte Ascent DC Power Systems ein, um die Leistungsstabilität bei Abscheidungsprozessen zu verbessern. Die fortschrittliche Leistungssteuerung trug dazu bei, die Filmkonsistenz zu unterstützen, Prozessschwankungen zu reduzieren und die Produktionsleistung zu verbessern.