Calibre Mask Data Preparation (MDP) værktøjer muliggør konvertering af maskedataformat og verifikation til maskefremstilling, herunder de nyeste multistrålemaskeformater i en fuldt kompatibel Calibre-platform.
Calibre Mask Data Preparation-produkter er en del af den integrerede Calibre-platform, så du kan udføre alle opløsningsforbedringsprocesser og maskeringsdataformatkonverteringsopgaver i en maskefabrikationsbatchkørsel ved hjælp af et enkelt kontrolsprog med klassens bedste ydeevne.
Eksporterer maskefremstillingsdata direkte til målmaskeskriveformater uden at ændre værktøjer eller oprette store mellemliggende filer. Understøttede formater inkluderer MEBES, JEOL, Micronic, NuFlare VSB og MBF, OASIS.MASK og OASIS.MBW.
Kontrollerer de endelige maskeskriverdata i forhold til den oprindelige GDSII- eller OASIS-definition. Det understøtter sporing af designopdateringer ved at bekræfte tilstedeværelsen af ændringer i de endelige maskedata.
Muliggør hurtig og nem gennemgang af designdata i GDSII- og OASIS-format såvel som i alle populære maskeskrivermønsterformater og datasamlinger gennem de respektive jobdæk.
Reducerer maskeomkostninger og maskeskrivetid ved at sænke det samlede antal skud gennem avanceret forbehandling af de brudte data.
Muliggør meget skalerbar cross-chip fusion til NuFlare VSB11-fraktur.
Udvider tcl-programmeringssprogssættet, der er tilgængeligt i Calibre MDPView med dedikerede funktioner, der understøtter ekstraktion og validering af egnede placeringer til maskemetrologi.