Skip to main content
Denne side vises ved hjælp af automatiseret oversættelse. Vil du have den vist på engelsk i stedet?

Oversigt

Calibre nmCLSRAF

Caliber NMCLSraf udfører ILT-styret, skabelonbaseret SRAF-syntese på krumlinede designs for at sikre præcis litografikontrol, konsistens i placering af underopløsningsassistentfunktion (SRAF), overholdelse af maskefremstilling (MRC) og hurtig driftstid for fremstilling af integreret kredsløb (IC).

Teknisk papir

Avancerede ILT-løsninger til fremstilling af fotonikdesign

I det sidste årti har fotonikteknologi været en ny teknologi til optisk telekommunikation og optiske sammenkoblinger inden for mikroelektronik. Som et resultat er en stor mangfoldighed af fotonikdesignmetoder fusioneret med meget udfordrende skalaer og former. Fremstilling af sådanne kurvede og kritiske fotoniske former kræver avancerede opløsningsforbedringsteknikker (RET), herunder inverse litografiteknikker (ILT) med 193 nm nedsænkningslitografi. I dette papir undersøger vi produktionsudfordringerne for flere fotonik-enheder ved hjælp af avancerede ILT-løsninger og virkningen af SRAF-indsættelse på levering af god litokvalitet, herunder kantplaceringsfejl (EPE), PVBand og linjekantruhed (LER). Vi vil demonstrere, hvordan vores Calibre ILT-løsninger muliggør fremstilling af de mest udfordrende fotonik-designs.

A integrated circuit and printed circuit board
Nøglefunktioner

Krøllede skabeloner til fuldchip SRAF-indsættelse

Skabelonbaseret tilgang tilbyder litografikvalitet svarende til ILT SRAF'er med hensyn til procesvinduesvariation (PV-bånd), fælles fokusdybde (DOF) og billedloghældning (ILS), samtidig med at den forbedrer driftseffektiviteten betydeligt - hurtigere end native ILT SRAF-syntese.

Calibre NMCLSraf fremhævede ressourcer

Udforsk vores fremhævede ressourcer for at lære mere om Calibre NMCLSraf.

OFTE STILLEDE SPØRGSMÅL

Calibre NMCLSraf ofte stillede spørgsmål

Klar til at lære mere om Calibre?

Vi står klar til at besvare dine spørgsmål! Kom i kontakt med vores team i dag

Ring til: 1-800-547-3000

Tal med en ekspert

Calibre konsulenttjenester

Vi hjælper dig med at implementere, implementere, tilpasse og optimere dine komplekse designmiljøer. Direkte adgang til ingeniør- og produktudvikling giver os mulighed for at udnytte dyb domæne- og emneekspertise.

Rådgivningstjenester

Supportcenter

Siemens Support Center giver dig alt på ét brugervenligt sted -
vidensbase, produktopdateringer, dokumentation, supportsager, licens/ordreinformation og meget mere.

Kontakt support

Caliber IC Design & Fremstilling

Calibre-værktøjspakken leverer nøjagtig, effektiv, omfattende IC-verifikation og optimering på tværs af alle procesnoder og designstilarter, samtidig med at ressourceforbrug og tapeout-planer minimeres.

Lær af eksperter