Oversigt
Calibre nmCLOPC
Mønsterkravene til næste generations litografiske processer har skubbet litografer til at udforske fordelene ved krumlinede masker. Calibre OPC-motoren er blevet udvidet til at generere krumlinede mønstre og understøtte en hurtig fuldchip krumlinjet OPC-flow.
Kontakt vores tekniske team: 1-800-547-3000
Krøllet OPC-motor
Calibers krumlinede OPC-motor kan konvertere rektangulære former til krumlinede mønstre og sikre, at EPE-målet nås. Den udfører SRAF-udskriftskontrol for buede former og anvender MRC-begrænsninger samtidigt for at sikre generering af krumlinjet maske i høj kvalitet.
Hurtig krøllet OPC-løsning med fuld chip
Caliber NMCloPC muliggør det hybride ILT-krumlinede OPC-flow, der leverer den krævede litografiske kvalitet med en hurtigere driftstid end med en komplet ILT-løsning. Denne strøm kan bruges til at generere krumlinede masker, der er nødvendige for Silicon Photonics, eller til retlinede designs til logik eller hukommelse.
Indfødt krumlinet polygonrepræsentation
I modsætning til traditionelle OPC-motorer, der er afhængige af Manhattan-kantbevægelse, anvender Calibre NMCloPC native krumlinet polygonrepræsentation med Bezier-splines og udfører splinebaseret korrektion ved at flytte en „OPC-kurve“. Dette nye format gavner ikke kun nøjagtighedsforbedringen, men mindsker også datastørrelseseksplosion introduceret af krumlinede masker.
Avancerede OPC-modelleringsløsninger til krumlinede masker
Calibre OPC-kernemodellen kan nøjagtigt modellere masken 3D-elektromagnetiske felteffekter til krumlinede masker. Brugen af SEM-konturer til modelkalibrering til krumlinede mønstre gør det muligt at beskrive den reelle opførsel på wafer. Den avancerede Calibre NMCloPC-teknologi maksimerer litografirettighederne og opnår den krævede OPC-nøjagtighed.
Klar til at lære mere om Calibre?
Vi står klar til at besvare dine spørgsmål! Kom i kontakt med vores team i dag
Ring til: 1-800-547-3000
Calibre konsulenttjenester
Vi hjælper dig med at implementere, implementere, tilpasse og optimere dine komplekse designmiljøer. Direkte adgang til ingeniør- og produktudvikling giver os mulighed for at udnytte dyb domæne- og emneekspertise.
Supportcenter
Siemens Support Center giver dig alt på ét brugervenligt sted -
vidensbase, produktopdateringer, dokumentation, supportsager, licens/ordreinformation og meget mere.
Caliber IC Design & Fremstilling
Calibre-værktøjspakken leverer nøjagtig, effektiv, omfattende IC-verifikation og optimering på tværs af alle procesnoder og designstilarter, samtidig med at ressourceforbrug og tapeout-planer minimeres.