Zakřivený OPC motor
Zakřivený OPC engine Calibre dokáže převést obdélníkové tvary na křivočaré vzory a zajistit dosažení cíle EPE. Provádí kontroly tisku SRAF pro zakřivené tvary a současně aplikuje vazby MRC, aby bylo zajištěno vysoce kvalitní generování křivočarých masek.
Rychlé plně čipové křivočaré řešení OPC
Calibre NMCloPC umožňuje hybridní křivočarý OPC tok ILT, který poskytuje požadovanou litografickou kvalitu s rychlejším provozem než u kompletního řešení ILT. Tento tok lze použít ke generování křivočarých masek potřebných pro křemíkovou fotoniku nebo pro přímočaré návrhy pro logiku nebo paměť.
Nativní křivočará polygonová reprezentace
Na rozdíl od tradičních modulů OPC, které se spoléhají na pohyb okrajů Manhattanu, Calibre NMCloPC aplikuje nativní křivočaré polygonové reprezentace u Bezierových splinů a provádí korekci založenou na spline posunutím „křivky OPC“. Tento nový formát prospívá nejen zlepšení přesnosti, ale také zmírňuje explozi velikosti dat zavedenou křivočarými maskami.
Pokročilá řešení OPC modelování pro křivočaré masky
Model jádra Calibre OPC dokáže přesně modelovat efekty 3D elektromagnetického pole masky pro křivočaré masky. Použití kontur SEM pro kalibraci modelu na křivočaré vzory mu umožňuje popsat skutečné chování na desce. Pokročilá technologie Calibre NMCloPC maximalizuje oprávnění k litografii a dosahuje požadované přesnosti OPC.
Jste připraveni dozvědět se více o Calibre?
Jsme připraveni odpovědět na vaše otázky! Spojte se s naším týmem ještě dnes
Volejte: 1-800-547-3000
Konzultační služby Calibre
Pomůžeme vám přijmout, nasadit, přizpůsobit a optimalizovat vaše složitá návrhová prostředí. Přímý přístup ke strojírenství a vývoji produktů nám umožňuje využít hluboké odborné znalosti v oblasti a předmětu.
Centrum podpory
Centrum podpory Siemens vám poskytuje vše na jednom snadno použitelném místě -
databáze znalostí, aktualizace produktů, dokumentace, případy podpory, informace o licence/objednávce a další.
Konstrukce a výroba integrovaných obvodů Calibre
Sada nástrojů Calibre poskytuje přesné, efektivní a komplexní ověřování a optimalizaci integrovaných obvodů napříč všemi uzly procesů a styly návrhu a zároveň minimalizuje využití zdrojů a plány páskování.